描述：德国 SIOS SP 5000‑TR 三光束激光干涉仪计量级多自由度测量系统，单台设备可**同步采集位移、俯仰角、偏航角**，规避分时测量受温度漂移带来的数据偏差，皮米级测量分辨率，适配科研实验室与工业设备校准场景，支持 OEM 及真空定制版本SIOS。

德国 SIOS SP 5000‑TR 三光束激光干涉仪

德国 SIOS SP 5000‑TR 三光束激光干涉仪

• 三光束干涉传感头：三路同源稳频激光通道，光束间距 12mm，光纤耦合设计，集成光束方向检测，光路调试简单便捷。

• 多材质机身可选：铝合金、不锈钢、因瓦 Invar 三种机身，满足普通环境、温度波动环境、极低热膨胀高精度科研工况。

• 三反射镜组件：允许反射镜最大 ±12.5° 倾斜，兼容平面反射镜、球面反射镜；可选长距离反射组件实现 10m 量程测量SIOS。

• 模块化配件：偏转镜、环境补偿传感器、DU‑04 显示单元；配套全套原厂测量分析软件，支持二次开发 API 接口。

产品用材

德国原厂整机装配；高稳频激光光源；可选 Invar 因瓦低膨胀合金机身；光纤光路传输；工业级稳固壳体；

光学部件抗环境干扰；支持真空版本定制，适配特殊实验腔体环境。

产品核心性能

1. 分辨率：长度 20pm，角度 0.01μrad，纳米‑皮米级测量精度。

2. 同步测量：位移、俯仰、偏航三轴同步采集，消除时序温差带来的测量误差，可补偿阿贝误差SIOS。

3. 测量量程：标准 6m，选配长距反射镜可达 10m；被测物移动速度最高 3m/s。

4. 反射镜容许倾斜 ±12.5°，降低工件装调对位难度。

5. 软件套件齐全：包含数据采集、FFT 振动分析、轴校准、机床误差补偿软件，符合 ISO、VDI 机床校准规范。

6. 丰富硬件触发、数字接口，支持 OEM 集成开发、真空环境定制。

产品核心优势

1. 多自由度同步检测，位移与角度同时输出，解决分时测量温度漂移干扰，数据一致性高。

2. 机身材质可按需选型，从常规工业到超高精度科研场景均可适配。

3. 光纤耦合 + 光束方向检测，光路调试门槛低，降低现场调试工作量。

4. 模块化拓展性强，可搭配环境补偿模块、各类光学配件，适配机床校准、平台测试、科研实验多种任务。

5. 原厂配套标准化校准软件，满足计量合规要求。

型号与标准配置

型号：SP5000‑TR标准配置：三光束干涉传感头、标准三反射镜组件、基础线缆、基础软件包、说明书、合格证 

可选配件：不锈钢 / Invar 机身、10m 长距反射镜、空气折射率环境补偿套件、DU‑04 显示单元、偏转镜、真空 OEM 版本、高级校准软件包。

参数简表

表格

适用场景

1. 直线位移台、XY 运动平台的位移、俯仰、偏航误差检测。

2. 机床、三坐标设备校准，体积误差补偿，满足 ISO、VDI 计量规范。

3. 材料热膨胀差分测试、动态振荡角度测试。

4. 计量实验室、科研机构精密测量；OEM 设备集成，真空腔体内部测量。