描述：富士科技 BV-NW63AXON 两段式气动真空蝶阀BV-NW63AXON 为富士科技两段开度气动真空蝶阀，采用 NW63 标准卡箍法兰，可实现半开粗抽、全开快抽两种模式，单阀完成腔体抽气流程，简化真空管路。阀体内腔电解抛光，放气率低，SUS304 阀体，密封件采用 Viton 氟橡胶。阀体自带开到位、关到位微动开关，反馈阀门状态。气源压力不稳、密封圈老化、管路粉尘会造成泄漏。适合半导体真空腔体

富士科技 BV-NW63AXON 两段式气动真空蝶阀

富士科技 BV-NW63AXON 两段式气动真空蝶阀

BV-NW63AXON 是 FUJItechnology 富士科技 AXON 系列两段式气动真空蝶阀，专为高真空腔体抽气控制开发，区别普通单位置蝶阀，具备两段开度控制逻辑，可先半开缓慢粗抽，抑制腔体压力骤变产生的粉尘飞溅，再全开高速抽真空，一只阀门即可完成腔体抽气全流程，减少真空管路阀件数量，降低管路布局复杂度。产品优势：

1. 两段式开度设计，半开慢抽保护腔体内部样品，避免颗粒扬尘污染晶圆与精密工件，广泛适配半导体工艺腔体。

2. NW63 卡箍快拆法兰，拆装维护便捷，腔体拆装检修省时；阀体材质 SUS304，内腔电解抛光处理，放气率低，洁净度满足半导体行业需求。

3. 双道 Viton 氟橡胶 O 型圈轴封，泄漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s，高真空工况密封稳定；标配开 / 关位置微动开关，向 PLC 反馈阀门状态，实现自动化联动。

4. 气动驱动，工作气源压力 0.4~0.6MPa，动作响应稳定；阀板结构流阻小，全开时通流能力优秀。

5. 百万次开关耐久设计，适合产线连续循环启停，长期使用稳定性强。

参考技术数据：法兰规格 NW63；材质 SUS304；密封 Viton 氟橡胶；漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s；工作真空区间 10⁵~10⁻⁶Pa；驱动气源 0.4~0.6MPa；自带全开、全关位置信号输出。

适用场景：半导体镀膜、刻蚀真空腔体抽气控制；真空热处理、真空焊接设备；实验室高真空腔体；光伏电池片真空工艺；精密真空检测设备。使用局限：气源必须经过干燥过滤，水汽、油雾会加速密封件老化；密封圈属于消耗件，需要定期检查更换；不可用于含有强腐蚀气体的工况。