描述：日本PILLARpillar 气动隔膜泵 药液输送泵PE-20MA、PE-40MA、PE-80MA 为 PILLARpillar 系列气动隔膜泵，依靠压缩空气驱动隔膜往复运动，无轴封结构，可干运转，适配各类化学药液输送。过流部件采用耐腐蚀材质，自吸能力强，流量随供气压力可调，三款型号覆盖不同流量区间。供气压力不稳、介质含硬质颗粒、隔膜老化破损会造成泄漏或流量衰减。多用于半导体、电镀、化工药液输送

日本PILLARpillar 气动隔膜泵 药液输送泵

日本PILLARpillar 气动隔膜泵 药液输送泵

PE 系列 MA 型气动隔膜泵是 PILLARpillar 面向精密化工、半导体湿法工艺开发的气动驱动隔膜输送泵，包含 PE-20MA、PE-40MA、PE-80MA 三个规格，按流量从小到大分级选型，依靠压缩空气驱动内部隔膜交替往复运动实现流体输送，无电机、无机械轴封，从根源消除轴封渗漏问题，是腐蚀性药液输送常用设备。产品优势：

1. 无轴封设计，支持短时干运转，空转不会直接损坏泵体；具备良好自吸能力，管路排空后可快速重新吸液，适合间歇供液工况。

2. 模块化选型，PE-20MA 小流量、PE-40MA 中流量、PE-80MA 大流量，用户可根据管路流量需求直接选型，同系列安装接口、控制逻辑相近，方便产线标准化替换维护。

3. 过流组件选用耐酸碱特种材质，可输送蚀刻液、清洗液、电镀液等多种腐蚀性流体；隔膜、球阀结构耐冲击，适配含少量细微颗粒的药液。

4. 流量可通过供气压力调节，改变空压机供气压力即可连续调整输出流量，无需更换泵体配件，工艺调试简单；泵体无旋转部件，运行振动低。

5. 防爆安全特性，以压缩空气作为动力源，无电火花风险，适合化学品车间、洁净车间等防爆要求工况。

参考技术数据：驱动方式：气动；介质：酸碱药液、化学溶剂；供气压力 0.2~0.5MPa；PE-20MA 最大流量 20L/min；PE-40MA 最大流量 40L/min；PE-80MA 最大流量 80L/min；允许介质温度 0~60℃；自吸高度可达 3m。

适用场景：半导体湿法清洗药液输送；PCB 电镀、蚀刻生产线药液循环；光伏制绒清洗工序；化工实验室腐蚀性溶剂输送；表面处理酸洗、磷化生产线；废液回收输送系统。使用局限：介质中大颗粒硬质杂质会加速隔膜、球阀磨损；隔膜、球座属于易损件，需定期检修更换；供气气源必须除水除油，水汽油污会影响气路换向阀寿命；不可输送大量结晶析出介质。