描述：日本 Technomate 泰克诺梅特 气动高压泵SSBL‑37.5A KLZ 为空气驱动式柱塞高压泵，专为半导体工艺开发，无需电机，适配防爆防火工况。最高吐出压力可达 17.6MPa，吐出流量 0.58L/min，适配纯水、IPA、NMP 等晶圆清洗溶剂。接液部 SUS316 不锈钢，密封可选 FKM/Kalrez，体积小巧适合设备内置集成，广泛用于晶圆高压喷射清洗、光刻胶剥离

日本 Technomate 泰克诺梅特 气动高压泵日本 Technomate 泰克诺梅特 气动高压泵

1、产品细节图白底整机实拍：全不锈钢泵体，卧式紧凑结构，进气口、介质进出接头，泵身刻印 Technomate、SSBL‑37.5A 铭牌标识，KLZ 代表密封材质规格；无水印完整整机。

场景图：半导体清洗设备内部，高压泵集成于机台，向清洗喷头输送高压 IPA 药液，完成晶圆剥离清洗制程。

2、产品性能纯压缩空气驱动，无电气部件，可直接用于防爆区域；驱动气压 0.05‑0.5MPa，通过调节输入气压线性控制输出压力，最高吐出压力 17.6MPa，额定流量 0.58L/min。柱塞提升阀结构，不易产生金属碎屑，压力波动小，无需蓄压罐；可选配吐出压力监控输出，实现远程状态监测；适配纯水、IPA、NMP 有机溶剂，KLZ 型号为耐溶剂 Kalrez 密封配置，针对强有机溶剂工况优化；泵体尺寸 W123×H116×D297mm，适合设备内置安装。

3、产品用材接液主体：SUS316 不锈钢；柱塞：不锈钢；标准密封 FKM，KLZ 配置 Kalrez 全氟密封；阀组提升阀结构；外壳碳钢喷涂。

4、核心参数表

表格

5、型号说明SSBL = 气动高压泵系列；37.5 代表压力等级；A 为本体版本；KLZ 代表 Kalrez 耐有机溶剂密封规格；同系列有 SSBL‑20、SSBL‑30 等规格；密封件、柱塞属于消耗备件。

6、产品用途半导体晶圆高压 IPA 清洗；光刻胶剥离、lift‑off 工艺；溶剂高压喷射；半导体制造设备配套，防爆工况流体加压供给。

7、产品包装出口木箱；SSBL‑37.5A KLZ 泵整机、接头配件、说明书。

8、使用说明接入洁净干燥压缩空气；介质管路做好过滤，避免颗粒杂质进入泵体损伤密封；禁止干运转；根据介质确认密封材质匹配；调节输入空气压力获得目标吐出压力；定期更换密封耗材；停机排空泵腔残留有机溶剂。