描述：ULVAC 爱发科 SP1皮拉尼真空计日本 ULVAC 爱发科 G‑TRAN 系列 SP1 一体化皮拉尼真空计，搭配 WP‑02 皮拉尼测量探头；利用气体热传导原理测量低真空，测量范围 0.4‑3000Pa；DC24V 供电，具备两路设定点输出、0‑5V 模拟信号输出；探头采用耐腐蚀铂丝灯丝，探头可单独更换。用于半导体设备、真空炉、镀膜设备，实现真空腔体压力监测与工艺联锁控制

ULVAC 爱发科 SP1皮拉尼真空计ULVAC 爱发科 SP1皮拉尼真空计

1. 产品细节图：SP1 传感单元本体实拍，D‑SUB 接口、状态指示灯；WP‑02 探头实物，引脚端、安装螺纹；原厂 CAD 安装图纸；接线示意图；探头铭牌型号特写，便于到货核对。

2. 产品性能：SP1 为电路‑传感单元一体化皮拉尼真空计，兼容 WP‑01/WP‑02/WP‑03/WP‑16 探头；配置 WP‑02 (Φ15) 探头；测量压力范围 0.4‑3000Pa；铂丝耐蚀灯丝；DC24V 供电；0‑5V 非线性模拟输出，2 路继电器设定点输出；采样 50ms；精度：51‑760Pa 为 ±15%，其余区间 ±30%~±50%；探头可单独拆装更换，无需更换整套单元，节省运维成本；适配 ISG1 显示单元，也可直接对接 PLC 做设备联锁控制ULVAC SHOW...。

3. 用材：SP1 外壳铝合金；WP‑02 探头外壳不锈钢；灯丝铂金属；内部精密测温电阻；密封氟橡胶密封圈。

4. 参数表

   表格

   项目	参数
   型号	SP1（配 WP‑02 探头）
   测量原理	皮拉尼（热传导式）
   压力测量范围	0.4~3000Pa
   供电	DC24V
   信号输出	0‑5V 模拟，2 路设定点
   探头型号	WP‑02（Φ15 接口）

5. 用途：半导体工艺腔体、真空炉、镀膜设备、各类低真空设备压力监测、设备联锁保护ULVAC Tech...。

6. 包装：独立硬纸盒，泡沫防护；SP1 单元、WP‑02 探头分开包装；内含说明书、规格样本。

7. 使用说明：真空接口密封到位，防止漏气；通电前确认 DC24V 电源；避免粉尘、油污污染探头灯丝；超大气压冲击会损伤灯丝；定期校验；损坏仅更换 WP‑02 探头。

8. 售后服务：到货检查探头无磕碰；提供原厂样本图纸；铂丝灯丝探头属于消耗件不在质保；非人为损坏本体执行原厂质保；提供真空系统选型咨询。