欢迎来到津越工业设备(武汉)有限公司！
18771980172欢迎来到津越工业设备(武汉)有限公司！
18771980172
产品分类 / PRODUCT
相关文章 / ARTICLE
2026-06-26
2026-07-13
2026-07-08
2026-06-08
2026-06-10
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本村田工业Murata SUPERCLONE水力旋流器日本村田工业Murata SUPERCLONE水力旋流器
SUPERCLONE 旋流单元为立式锥形结构，包含进料口、溢流口、底流口。设备主体分段式结构，法兰连接便于拆装维护。旋流内腔可更换耐磨内衬，管路接口为耐腐法兰。多单元模组可并联组装在机架上，整套回收系统搭配储罐、压力监测仪表，安装于产线废液区域。
依靠流体进入腔体产生离心力实现颗粒分级，属于纯物理分离，不会改变浆料 pH、化学添加剂组分。CMP 废液由进料口切向进入旋流腔，大颗粒杂质向腔壁沉降，从底流口排出；合格亚微米砥粒随内旋流从溢流口回收进入循环罐。可去除 2μm 以上杂质颗粒，砥粒回收率可达 50%~80%。多单元并联可提升处理流量；可根据浆料固含调整进料压力，优化分离效果。设备无运动部件，运行稳定，故障率低。
主体外壳碳钢衬耐腐橡胶；旋流内衬采用高耐磨聚氨酯，抵抗磨料颗粒冲刷；法兰、管路配件采用耐酸碱 PFA/PTFE 材质；密封件为氟橡胶，耐抛光药液腐蚀。
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | SUPERCLONE T / SUPERCLONE TR |
| 分离原理 | 水力离心分级 |
| 可去除颗粒 | ＞2μm 杂质颗粒 |
| 砥粒回收率 | 50%~80% |
| 结构 | 多单元可并联模组 |
| 工作方式 | 连续流体处理 |
SUPERCLONE T；SUPERCLONE TR。
半导体 CMP 产线抛光废液回收；分离硅屑、抛光垫碎屑、团聚粗颗粒；回收可用研磨砥粒，减少新浆料消耗；也用于粉体分级、造纸杂质分离等固液分离场景。
旋流单元、机架、配件分开包装，重型实木箱，内衬防震垫。耐磨内衬、密封件单独包装。外包装标注重型工业设备。
固定整套旋流模组机架，连接进料、溢流、底流管路，安装压力监测仪表。接入 CMP 抛光废液，调节进料压力，观察流体状态。底流持续排出粗渣，溢流收集回收浆料。定期停机拆开检查内衬磨损情况，磨损超标及时更换。停机时用去离子水冲洗腔体，防止磨料沉积堵塞管路。
拿起手机扫一扫Copyright © 2026津越工业设备(武汉)有限公司 All Rights Reserved 备案号：鄂ICP备2026021557号-1
技术支持：化工仪器网 管理登录 sitemap.xml
我的位置：
产品型号：
留言询价
上一篇：
地址：湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道特1号国际企业中心三期3栋3层07号F394
邮箱：18771980172@163.com
联系人：李经理
返回顶部