描述：IWAKI 易威奇 CMP 浆料输送定量泵组EWN-W 电磁定量泵实现酸碱药剂精准投加，稳定浆料 pH；FS-H 气动波纹管泵输送高固含抛光浆料，脉动低。配套储罐、阻尼器等辅件，搭建 CMP 浆料循环供液系统。接液部件耐化学腐蚀，适配二氧化硅、氧化铝浆料。精准控药保证抛光液品质稳定，输送泵保障浆料稳定输送至机台 POU 点，广泛用于半导体 CMP 产线流体系统。

IWAKI 易威奇 CMP 浆料输送定量泵组IWAKI 易威奇 CMP 浆料输送定量泵组

产品细节图

整套泵组包含 EWN-W 电磁计量泵、FS-H 气动波纹管泵、阻尼器、管路接头。计量泵自带流量调节旋钮与脉冲反馈接口；波纹管泵腔体较大，适配高固含浆料。泵头模块化设计，拆装方便，方便更换密封件。整套组件可集成安装在不锈钢机架，管路采用 PFA 材质，适配半导体车间腐蚀流体工况。

产品性能

EWN-W 电磁定量泵：电磁驱动，计量精度稳定，用于 pH 调节药剂微量投加，维持 CMP 循环罐内抛光液 pH 稳定，避免 pH 波动造成浆料团聚。FS-H 气动波纹管泵，气动驱动，流体脉动小，适合输送高固含 CMP 抛光浆料，减少颗粒沉降。配套阻尼器缓冲管路压力波动，降低浆料颗粒沉淀风险。整套泵组可连续长时间运行，适配半导体产线不间断生产；接液材质抗酸碱、抗磨料冲刷，减少颗粒析出污染浆料。可接入产线 PLC 系统，实现流量信号反馈与联锁控制。

用材

泵头接液部件 PFA/PTFE；波纹管采用耐化学特种橡胶；阀球为陶瓷材质；密封件氟橡胶；机架不锈钢。

参数表

表格

型号

EWN-W 系列电磁定量泵；FS-H 系列气动波纹管泵。

用途

半导体 CMP 产线抛光浆料循环输送；酸碱药剂定量投加，稳定浆料 pH；输送各类半导体工艺药液；也用于化工、水处理精密加药场景。

包装

泵体、辅件分箱包装，防震纸箱加木托。密封件、阀件单独小盒包装。附带管路图纸、操作手册。

使用说明

泵组固定安装在产线供液柜，连接气源、电源、流体管路。安装完成后做管路气密性测试。EWN-W 泵设置投加流量，接入 pH 在线信号联动加药。FS-H 泵调节气动压力，控制浆料输送流量。开机前用去离子水冲洗管路，确认无堵塞。运行期间留意压力、流量变化；停机清洗泵腔，防止磨料堆积卡阀。定期更换密封件。