描述：Rheonics 瑞诺尼克斯在线粘度密度传感器，SRV 专测粘度；SRD 可同时完成粘度、密度、温度三项实时测量Rheonics。采用共振扭转谐振原理，不受流量、压降干扰，无需旁路管路，直接串接 CMP 循环管路。316L 全金属接液，具备 ATEX/IECEx 防爆认证，适配二氧化硅、氧化铝 CMP 浆料。实时监控浆料稀释、团聚、浓度漂移，输出报警信号对接 PLC，替代频繁离线取样化验

 Rheonics 瑞诺尼克斯在线粘度密度传感器 Rheonics 瑞诺尼克斯在线粘度密度传感器

一、产品细节图

整套系统由探头传感器本体 + DIN 导轨安装变送器电子模块两部分组成。探头为紧凑型圆柱形金属结构，前端为谐振检测探杆，后端为标准工业螺纹接口（NPT、DIN、卡箍可选），可直接拧入工艺管道、浆料罐侧壁；变送器模块为导轨卡扣式金属壳体，搭载网口、RS485、4‑20mA 模拟量输出端子，面板具备状态指示灯、SD 卡数据记录插槽。探头与电子单元通过专用屏蔽线缆连接，安装布局灵活，可部署在浆料储罐出口、循环管路、POU 前端，不需要改造大量管路，无复杂旁路腔体，适配半导体无尘车间安装。防爆版本外壳为红色隔爆壳体，防护等级满足危险工况使用。

二、产品性能

采用对称扭转谐振检测原理，SRV 实现宽量程粘度测量；SRD 单支传感器同时采集粘度、密度、流体温度三组数据，内置 Pt1000 高精度温度元件，自动做粘度‑温度补偿Rheonics。测量不受介质流速、压降、气泡一定程度扰动影响，不需要旁路取样回路，直接浸入浆料即可连续测量。SRV 粘度测量 0.5‑250000cP；SRD 粘度 1‑3000cP、密度 0‑4.0g/cc；密度精度可达 0.01g/cc，粘度标准精度为读数 5%，高精度版本可达 1%，数据复现性优于读数 1%zh-cn.rheo...。支持牛顿、非牛顿、多相悬浮 CMP 浆料。具备阈值报警，可输出开关量信号联动旁通阀、配料计量泵，实现浆料闭环自动调控。提供 ATEX、IECEx 本安防爆认证，可用于化工防爆区域；无消耗件，正常工况免校准、免维护，适合 7×24 小时产线连续运行。可对接工厂 PLC、SCADA 系统，实时上传浆料工艺数据，记录历史趋势，用于工艺追溯。

三、产品用材

探头接液部件标准为316L 不锈钢；可选哈氏合金 C22 应对强腐蚀浆料体系；密封件 FKM 氟橡胶；外壳铝合金防腐喷涂；变送器壳体镀锌合金；螺纹接口工业标准 316L；谐振元件特种合金，抗浆料磨料颗粒冲刷磨损，耐 CMP 体系酸碱、氧化剂腐蚀。整机无橡胶衬里，避免析出污染半导体浆料。

四、参数表

表格

五、产品型号

SRV 标准粘度探头；SRV‑EX 防爆型；SRD 粘度密度一体探头；SRD‑EX 防爆型；配套 Rheonics Process Monitor 控制器。

六、产品用途

半导体 CMP 化学机械抛光产线浆料在线质量监控，安装在浆料储罐、循环管路、POU 使用点，实时监测浆料稀释配比异常、颗粒团聚、浓度漂移；也适用于电池浆料、化工混合液、研磨悬浮液在线检测。对比 pH、ORP，密度‑粘度可以有效反映浆料固含量变化，弥补 pH/ORP 对稀释配比不敏感的短板，及时预警异常，稳定晶圆抛光去除速率，降低划痕缺陷，减少离线实验室取样频次。