描述：日本PILLAR皮拉风囊泵阻尼器PILLAR 皮拉风囊泵为半导体行业专用气动波纹管泵，接液部件采用 PFA、PTFE 氟树脂材质，无金属接触药液，实现低脉动洁净输送。PA‑80MA 为配套脉动阻尼器，可消减管路压力波动。PE‑40MA 分 S119、PW8 不同接口版本，适配不同管路规格。耐强酸碱蚀刻药液，适配晶圆湿制程、化学品供液柜，气动驱动无电气火花风险，适合高洁净化工流体输送场景。

日本PILLAR皮拉风囊泵阻尼器日本PILLAR皮拉风囊泵阻尼器

PILLAR 皮拉风囊泵为半导体行业专用气动波纹管泵，接液部件采用 PFA、PTFE 氟树脂材质，无金属接触药液，实现低脉动洁净输送。PA‑80MA 为配套脉动阻尼器，可消减管路压力波动。PE‑40MA 分 S119、PW8 不同接口版本，适配不同管路规格。耐强酸碱蚀刻药液，适配晶圆湿制程、化学品供液柜，气动驱动无电气火花风险，适合高洁净化工流体输送场景。

产品介绍产品细节图整机实拍包含泵体主体、气动进气口、药液进出口、波纹管风囊组件、铭牌标识；阻尼器实拍包含缓冲腔体、管路接头、安装底座特写，可查看接口规格、接液部位材质，便于现场管路对接确认。

产品性能风囊泵采用纯气动驱动，依靠波纹管往复完成药液输送，输出脉动低，无需额外复杂缓冲即可实现平稳供液。不同后缀代表接头形式差异，S119、PW8 对应不同管路螺纹 / 卡箍接口。PA‑80MA 脉动阻尼器可吸收管路压力冲击，降低流量波动，保护后端精密设备。设备可适配各类强腐蚀化学药液，运行噪音低，可 24 小时连续工况运行，维护周期长。

用材接液腔体、波纹管全部采用高纯 PFA/PTFE 氟树脂，不析出颗粒杂质；外壳为防腐涂层金属材质；接头为耐腐特种合金 / 氟树脂一体加工；阻尼器内部缓冲隔膜为耐疲劳 PTFE 复合材质，抗化学侵蚀，不易老化破损。

参数表

表格

型号本系列包含 PE‑20MA；PE‑40MA‑S119；PE‑40MA‑PW8 风囊泵，PA‑80MA 脉动阻尼器。PE‑40MA 两种型号仅接头规格不同，流量主体性能保持一致，根据客户现场管路来选型。

用途半导体、光伏晶圆湿处理设备；化学供液柜、蚀刻药液输送；面板行业腐蚀药液循环；各类高纯强腐蚀化学品输送管路；搭配阻尼器用于需要消除流体脉动的精密供液系统。

包装独立防静电纸箱包装，内部泡棉隔离防护，防止波纹管磕碰损伤；箱内含原厂说明书、接头密封件备件、安全警示卡；阻尼器独立小盒分装。

使用说明接入洁净干燥压缩空气，严格按照铭牌气压范围供气；管路安装前冲洗管路杂质，避免颗粒划伤波纹管；禁止超过额定压力运行；定期检查风囊隔膜有无老化；介质温度不可超过设备额定值；阻尼器串联安装在泵出口管路。