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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION韩国 agd AGD 半导体湿制程管路成套组件 韩国 agd AGD 半导体湿制程管路成套组件
产品细节图产品板块可查看管路组件实拍,包含管道、阀门接头、树脂加工件、管路模组整体装配图。产品为洁净级管路组件,管件接头、阀门一体装配,表面无毛刺,适配半导体洁净车间。
产品性能
管路耐强酸强碱,耐化学药液侵蚀,适配湿法清洗、湿法刻蚀;
管件表面低析出,满足半导体高洁净要求;
可根据客户图纸进行切割、焊接、树脂加工定制;
管路系统压力稳定,泄漏风险低;
整套方案可配套流量计、压力监测元件集成。
用材主体管路采用高纯耐腐蚀树脂材质,部分接头采用高纯塑料;密封件选用耐化学腐蚀特种橡胶,所有原材料控制析出物,满足半导体洁净等级,减少药液污染晶圆。
参数表
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 适用介质 | 各类酸碱、光刻胶、清洗药液 |
| 管路口径 | DN6~DN100 可定制 |
| 工作温度 | -10~80℃ |
| 洁净等级 | 半导体洁净级 |
| 连接方式 | 热熔 / 卡套 |
| 耐压 | 0~0.6MPa |
型号AGD 自有系列管路组件,配套 TOFCO、NANO LINK SYSTEM、STUBBE、FIT-ONE 相关流体配件。
用途半导体晶圆湿法清洗、湿法刻蚀,药液输送、废液排放,光伏、显示行业湿制程流体管路配套。
包装管件单独防尘膜包裹,整套模组采用木箱包装,内部防震隔离,配件分类独立包装,附带加工图纸、材质证明。
使用说明安装前确认管路材质适配药液;管路焊接、装配需在洁净环境操作;安装完成后做水压 / 气压检漏;定期检查老化密封件,防止药液渗漏。避免超温超压运行。
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