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韩国 agd AGD 半导体湿制程管路成套组件

描述:韩国 agd AGD 半导体湿制程管路成套组件 AGD 提供半导体湿制程全套流体管路解决方案,自研及经销各类防腐管路、树脂加工件。适配晶圆清洗、湿法刻蚀等湿工艺,耐强酸碱腐蚀。可提供管路加工、现场配套咨询,配套 TOFCO、FIT-ONE 等品牌元件,支持按设备图纸定制加工,满足洁净车间流体输送需求。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-09-28
  • 访问量:16
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

韩国 agd AGD 半导体湿制程管路成套组件 韩国 agd AGD 半导体湿制程管路成套组件

产品介绍

产品细节图产品板块可查看管路组件实拍,包含管道、阀门接头、树脂加工件、管路模组整体装配图。产品为洁净级管路组件,管件接头、阀门一体装配,表面无毛刺,适配半导体洁净车间。

产品性能

  1. 管路耐强酸强碱,耐化学药液侵蚀,适配湿法清洗、湿法刻蚀;

  2. 管件表面低析出,满足半导体高洁净要求;

  3. 可根据客户图纸进行切割、焊接、树脂加工定制;

  4. 管路系统压力稳定,泄漏风险低;

  5. 整套方案可配套流量计、压力监测元件集成。

用材主体管路采用高纯耐腐蚀树脂材质,部分接头采用高纯塑料;密封件选用耐化学腐蚀特种橡胶,所有原材料控制析出物,满足半导体洁净等级,减少药液污染晶圆。

参数表

表格

项目参数
适用介质各类酸碱、光刻胶、清洗药液
管路口径DN6~DN100 可定制
工作温度-10~80℃
洁净等级半导体洁净级
连接方式热熔 / 卡套
耐压0~0.6MPa

型号AGD 自有系列管路组件,配套 TOFCO、NANO LINK SYSTEM、STUBBE、FIT-ONE 相关流体配件。

用途半导体晶圆湿法清洗、湿法刻蚀,药液输送、废液排放,光伏、显示行业湿制程流体管路配套。

包装管件单独防尘膜包裹,整套模组采用木箱包装,内部防震隔离,配件分类独立包装,附带加工图纸、材质证明。

使用说明安装前确认管路材质适配药液;管路焊接、装配需在洁净环境操作;安装完成后做水压 / 气压检漏;定期检查老化密封件,防止药液渗漏。避免超温超压运行。


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