AM45日本Atomax 半导体晶圆精密喷涂二流体喷嘴
日本Atomax 半导体晶圆精密喷涂二流体喷嘴采用外混合涡流雾化结构,专为晶圆、精密零部件精密喷涂与湿法清洗开发。可稳定生成平均5μm超细雾滴,液体流量8–15L/h,喷雾角度可调,雾场均匀。直通式流路设计抗堵塞,可选多种耐腐蚀材质,适配去离子水、光刻药液、低粘度涂层药剂。广泛用于半导体晶圆薄膜喷涂、刻蚀后清洗、精密元器件防护涂层作业,雾滴粒径一致性好,减少针孔、膜厚不均等工艺缺陷
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更新日期
2026-09-11 - 02
厂商性质
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