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Single‑Nozzle 1MHz德国 SONOSYS 兆声波单喷嘴系统
德国 SONOSYS 兆声波单喷嘴系统配置 1MHz 单喷嘴 + MLM 系列兆声波电源发生器。采用高频压电 PZT 陶瓷换能器,兆声波能量通过 DI 水射流聚焦至工件表面,温和去除晶圆、MEMS、光学件纳米级微小颗粒,低损伤不腐蚀精细微结构。功率 20‑100% 连续可调,自带自动调谐匹配;介质为超纯水,液体流量 1.0‑1.6L/min;广泛用于半导体、MEMS、光学器件单点定点清洗
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更新日期
2026-09-09
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厂商性质
代理商
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浏览量
17
13791‑107德国SONOSYS 双频兆声波清洗喷嘴设备
德国SONOSYS 双频兆声波清洗喷嘴设备
本产品为德国 SONOSYS 索诺西斯 13791‑107 双频兆声波清洗喷嘴,属于半导体湿法工艺专用喷嘴部件,实现 3MHz 与 5MHz 双频协同工作,喷头接液部位采用 PTFE 外壳搭配石英换能板面,适配高纯药液、超纯水介质。设备将兆声波能量耦合进入流动液体,随流体喷射至基板表面,依靠高频微空化效应剥离工件表面微小颗粒、有机残留。
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更新日期
2026-08-08
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厂商性质
代理商
- 03
浏览量
86
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