描述：韩国AKTECH半导体真空阀静电卡盘组件AKTECH 主营半导体真空零部件及维修服务，自研 ESC 静电卡盘、金属波纹管、加热三通球阀、APC 压力控制阀，配套真空阀门维修业务。产品适配半导体真空腔体，兼容三星、SK 海力士等产线设备，真空密封性优良，可提供零部件维修更换、现场技术支持。

Name: 韩国AKTECH半导体真空阀静电卡盘组件
Brand: 其他品牌
Price: 12000 CNY
Availability: InStock

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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

韩国AKTECH半导体真空阀静电卡盘组件韩国AKTECH半导体真空阀静电卡盘组件

产品细节图可下载实物实拍图，包含静电卡盘、真空球阀、金属波纹管、EFEM 污染控制模组。金属件表面精密加工，卡盘平面度高，阀体结构紧凑，适配真空腔体狭小安装空间。

产品性能

用材静电卡盘采用特种陶瓷基材；阀体采用不锈钢精密加工；波纹管选用高弹性特种合金；密封件采用真空专用耐温密封材料，低放气，适配半导体高真空环境。

参数表

表格

型号ESC 静电卡盘系列、加热三通球阀、APC 压力控制阀、金属波纹管、EFEM 污染控制模组。

用途半导体真空腔体、晶圆传输设备、刻蚀、沉积设备真空部件替换，真空阀门维修翻新。

包装真空件采用真空防尘袋密封，单独防震泡沫包裹，木箱封装；配套材质证明、检测报告，保护精密加工面不磕碰划伤。

使用说明安装环境保持洁净，避免粉尘附着密封面；安装时保护陶瓷卡盘表面，禁止硬物磕碰；定期检测真空泄漏；波纹管避免过度拉伸压缩。拆件、更换需在洁净环境操作。

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