描述：韩国 CSK 半导体液态前驱体供给系统韩国 CSK LDS 液态前驱体供给系统，用于半导体 ALD/CVD 工艺，连续稳定输送超高纯液态金属有机源。设备内置多重安全联锁保护，符合 SEMI S2.2 防爆规范，支持最大 38L 钢瓶。分为 TDS 终端输送、TCT 三联化学供给柜，保障前驱体供给稳定，降低化学品损耗，我司可协助选型订货。

Name: 韩国 CSK 半导体液态前驱体供给系统
Brand: 其他品牌
Price: 4500 CNY
Availability: InStock

产品咨询联系我们

产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

韩国 CSK 半导体液态前驱体供给系统韩国 CSK 半导体液态前驱体供给系统

产品介绍产品细节图访问 csk.kr 产品页面下载整机柜体、钢瓶仓、管路阀组、控制面板实拍。整机为立式工业柜体，带防爆防护门；内部包含钢瓶放置仓、加热温控单元、压力传感模块、高纯阀组；人机交互面板在柜体正面，可监控压力、流量、温度；可集成吹扫回路，实现管路自动吹扫，适配手套箱或产线洁净间布置。

产品性能闭环压力流量控制，稳定输出前驱体蒸汽；多重安全联锁，超温、超压、泄漏自动报警并切断介质；管路全程高纯处理，减少前驱体分解污染；符合 SEMI S2.2 安全标准；支持多瓶切换连续供给，减少停机换料频次；可远程监控设备运行参数，适配半导体产线自动化控制。

用材柜体：防静电喷涂钢板；管路：316L EP 不锈钢；阀件：半导体高纯阀；密封件：PFA/PTFE；传感器：防爆型压力温度传感器。

参数表

表格

型号TDS 终端输送系统；TCT 三联化学转换供给柜；配套高纯阀组、吹扫模块。

用途半导体 ALD、CVD 薄膜沉积工艺；金属有机前驱体连续供给；半导体产线化学物料输送。

包装设备模块化拆分，熏蒸实木箱；传感器、阀件单独防震防护；附带电气图纸、操作手册、出厂检测报告。

使用说明设备放置洁净防爆车间；接入干燥高纯载气；严格按照手册设置温控、压力参数；定期检漏；维护操作需培训，检修前执行管路吹扫置换。

留言询价/ MESSAGE INQUIRY