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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION韩国 Cinosens 超高纯隔膜阀流体管件韩国 Cinosens 超高纯隔膜阀流体管件
产品性能阀体内表面 EP 电抛光,流道,降低微粒析出;隔膜结构隔绝执行机构与介质,避免介质污染;气动隔膜阀响应速度快,适合工艺气体通断;HRG 减压阀压力输出稳定;MSC 模块化基板阀组减少泄漏点;IoT 模块支持流量、压力数据采集与远程控制,适配 SEMI 半导体洁净标准。
用材阀体:316L 不锈钢 EP;隔膜:PTFE/PFA;接头:316L 不锈钢;阀座:高纯耐腐塑料;基板:不锈钢。
参数表
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 品牌 | Cinosens |
| 核心产品 | UCV 隔膜阀、HRG 减压阀、HTC 接头、MSC 阀组 |
| 材质 | 316L EP 不锈钢、PFA/PTFE |
| 适用介质 | 半导体高纯特种气体 |
| 控制方式 | 气动 / 手动,可选 IoT 信号采集 |
| 洁净等级 | 半导体超高纯级别 |
型号UCV 系列隔膜阀;HRG 系列高纯减压阀;HTC 仪表卡套接头;MSC 模块化集成阀组;IoT 流量控制阀。
用途半导体晶圆制造特种气体管路;ALD/CVD 工艺气路;洁净实验室高纯流体输送;半导体设备气路改造项目。
包装阀件防尘真空袋单独封装;集成阀组泡沫防护,木箱包装;附带材质证书、洁净检测报告。
使用说明安装环境保持无尘;管路焊接完成吹扫清洁后再接入阀件;控制气源需干燥洁净;定期检查隔膜老化情况;禁止超压、超温工况使用。
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