描述：韩国 DFTECH 半导体零部件精密清洗设备韩国 DFTECH 提供半导体零部件精密清洗整套设备，支持湿法超声、高压 DI 水、干冰、激光清洗。可清洗金属、石英、陶瓷半导体腔体配件，配套 MES 全流程追溯，清洗后真空烘烤洁净封装。适配晶圆设备零部件维护，我司可协助方案评估与设备订货。

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厂商性质：代理商
更新时间：2026-09-29
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

韩国 DFTECH 半导体零部件精密清洗设备韩国 DFTECH 半导体零部件精密清洗设备

产品介绍产品细节图访问 dftech 查看超声清洗槽、干冰清洗单元、真空烘烤炉、高压喷淋模块实拍。整套系统模块化，包含化学清洗槽、多级 DI 漂洗槽、超声单元、干冰清洗装置、真空烘烤腔体；配套机械手自动上下料；MES 系统记录每批次清洗参数；洁净区设计，防止二次污染；可针对金属、石英、陶瓷不同材质选择对应清洗工艺。

产品性能多工艺复合清洗，湿法去除有机、颗粒污染物；干冰清洗无二次残留；激光清洗用于局部精密污渍去除；多级超纯水漂洗，降低离子残留；真空高温烘烤脱水；MES 系统全程记录清洗参数，实现批次追溯；适配半导体零部件预防性维护，降低腔体颗粒污染。

用材清洗槽：PP/PVDF 防腐塑料、316L 不锈钢；腔体：不锈钢；管路：高纯塑料；烘箱内胆：不锈钢。

项目	参数
品牌	DFTECH
清洗工艺	超声、高压喷淋、干冰、激光清洗
清洗对象	金属、石英、陶瓷半导体零部件
配套功能	DI 漂洗、真空烘烤、MES 追溯
应用场景	半导体零部件再生清洗

型号湿法超声清洗机组；CO₂干冰清洗单元；激光清洗模块；真空烘烤系统。

用途半导体设备腔体、石英件、陶瓷件、管路零部件精密清洗；半导体厂零部件再生维护。

包装设备分模块实木熏蒸木箱；精密传感器单独防护；附带工艺手册、电气图纸。

使用说明设备安置在洁净厂房；化学品按规范存放；废液合规收集处理；定期维护过滤芯；操作人员做好防护；不同材质工件分开清洗，避免交叉污染。