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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本 csc-biz落尘计数器 表面清洁度检测仪日本 csc-biz落尘计数器 表面清洁度检测仪
RACCAR 粗大落尘计数器,型号 CS-RA004,用于电子显示器、传感器表面沉降异物检测。以 4 英寸硅片作为采样板,识别 30μm 及以上粗大落尘,分 5 档粒径分级计数。单次检测仅需约 7~10 秒,自动采集颗粒图像,可导出 CSV 数据存档。弥补普通空气粒子计无法检测沉降大颗粒的短板,适合洁净车间落尘评估,验证除尘工艺效果。采样硅片可清洗重复使用,降低长期使用成本,多用于半导体、显示器件产线异物管控。
整机实拍图包含主机光学检测箱体、配套电脑与分析软件界面。细节特写包含样品载台、采样硅片放置区域、光学镜头组件、设备铭牌;软件界面图可直观查看颗粒彩色标记、粒径分布、落尘位置分布图。设备主机为封闭式黑色光学腔体,可阻挡环境杂光干扰,保障图像识别稳定,配套数据线、专用采样板清洗治具。
设备采用光学图像识别方式,对采样板表面沉降颗粒自动识别、分级计数。最小可检出粒径 30μm,设置 5 个分级档位:≥30μm、≥50μm、≥100μm、≥150μm、≥200μm。单次测量速度快,7 至 10 秒完成一次扫描分析,软件用不同颜色标记不同尺寸粉尘,直观查看颗粒分布位置。系统同步保存原始图片与统计数据,支持 CSV 格式导出,方便做趋势追踪与批次对比。采样硅片经清洗后可反复使用,减少耗材支出。设备运行稳定,不易受轻微环境气流扰动,适合洁净车间在线评估,定位产线落尘源头,评估显示器、传感器零部件表面洁净水平。传统粒子计数器只检测空气中悬浮小微颗粒,本设备专门针对沉降粗大异物,这类大颗粒是电子元件表面不良的主要诱因。
设备外壳采用高强度防静电工程塑料,防静电性能适配洁净室环境,不易产生新粉尘污染。内部光学镜头、感光芯片选用高稳定性光学元器件,抗温漂,成像清晰度稳定。样品载台为精密加工金属基材,表面平整,定位精度高,保障硅片每次放置位置一致。配套采样基板为 4 英寸硅晶圆,表面超平滑,便于捕捉沉降粉尘;配套清洗治具采用耐酸碱、低析出材质,清洗采样板时不会产生二次污染。
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | CS-RA004(RACCAR) |
| 检测原理 | 光学图像式粗大沉降粒子计数 |
| 最小检测粒径 | 30μm |
| 粒径分级 | ≥30μm、≥50μm、≥100μm、≥150μm、≥200μm |
| 采样基板 | 4 英寸硅片 |
| 单次测量时间 | 7~10s |
| 数据输出 | 图像保存、CSV 统计文件 |
| 使用环境 | 洁净室 ISO6~8 级 |
| 配套设备 | 电脑(含专用分析软件) |
主要检测洁净环境沉降粗大颗粒,用于电子显示器、光学传感器、晶圆、触控面板等零部件表面清洁度评估。可用于产线落尘源头排查、设备除尘效果验证、洁净室日常监控,分析异物来源,减少元件表面粉尘造成的划痕、黑点、显示缺陷。广泛应用半导体、液晶显示、光学元件、精密零部件制造行业,也可用于洁净工作台、烘箱、干燥炉等工位的落尘测试。
主机采用防震木箱包装,内部高密度泡沫对光学主机做缓冲隔离,防止运输震动损伤镜头。配套配件独立分装,包含采样硅片、清洗治具、数据线、软件 U 盘、操作手册。箱体标注防震、避光标识,光学腔体单独防护。到货开箱核对主机、配件清单、软件介质。
设备放置于洁净台内,保持环境避光、平稳。将清洗干净的 4 英寸硅片放置在待测区域采集落尘,之后放入设备载台,软件启动扫描。等待数秒自动完成识别,查看图像与粒径统计结果,保存图片与数据。测试结束取出硅片,使用配套治具清洗、烘干,可重复采样。设备光学窗口保持洁净,禁止触碰镜头;定期做背景校准。禁止在强粉尘、强振动环境使用,避免镜头污染与成像偏差。
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