描述：日本Katsuraopto小型倾斜传感器自动准直仪TM-2070 是日本 Katsura-opto 桂光电超小型激光自动准直仪（倾斜传感器），采用光学自准直原理，非接触检测 θX、θY 双轴微小倾角。体积紧凑便于集成到自动化设备，采样速率 60fps，重复精度 1 角秒，线性度 ±0.25% F.S。搭载 APC 自动光功率控制，适配反射率 0.5% 以上光学平面。搭配 GP-2000 图像处理单

日本Katsuraopto小型倾斜传感器自动准直仪日本Katsuraopto小型倾斜传感器自动准直仪

TM-2070 是日本 Katsura-opto 桂光电超小型激光自动准直仪（倾斜传感器），采用光学自准直原理，非接触检测 θX、θY 双轴微小倾角。体积紧凑便于集成到自动化设备，采样速率 60fps，重复精度 1 角秒，线性度 ±0.25% F.S。搭载 APC 自动光功率控制，适配反射率 0.5% 以上光学平面。搭配 GP-2000 图像处理单元，数字输出可接入 PLC，多用于半导体、光学元件、晶圆键合设备的实时倾角监测与自动对准。

产品介绍

产品细节图传感器本体体积小巧，硬币级尺寸，黑色金属方形外壳，前端激光发射窗口，壳体预留安装螺纹孔，方便嵌入设备内部。配套 GP-2000 图像处理单元，带有通讯接口与电源端子；传感器与控制器使用专用信号线连接。可选 TO-7900 安装工装，用于传感器角度微调定位。激光光束直径细小，可对微小光学元件局部倾角检测，不损伤被测工件表面。传感器外壳印有激光警示标识与型号铭牌，结构紧凑节省设备安装空间。

产品性能设备基于光学自准直原理，非接触同时测量 X/Y 双轴倾斜角度，采样速度可达 60fps，满足产线高速在线检测。重复精度可达 1 角秒，线性度 ±0.25% 满量程，测量结果稳定。内置 APC 自动光功率控制功能，可自动补偿被测面反射差异，提升低反射工件测量稳定性。支持数字通讯输出，可直接将倾角数据传输给上位机、PLC，实现闭环自动对准。工作距离 0~110mm，测量倾角范围 ±70 角分，适合微小倾角的精密检测，不受轻微震动带来的小幅干扰。

用材传感器主体外壳采用轻量化航空铝合金，精密 CNC 加工，刚性好、热变形小。内部光学镜片选用低膨胀光学玻璃，镀膜工艺稳定；激光二极管、图像感光芯片精密封装，抗温漂。内部电路板做防潮、抗电磁干扰涂层处理；通讯线缆采用屏蔽线材，降低工业环境信号干扰。配套安装工装为不锈钢材质，调节螺纹顺滑，长期使用不易卡滞。

参数表

表格

型号TM-2070 属于桂光电 TM2000 系列超小型倾斜传感器自动准直仪，衍生版本 TM-2070-C001 适配极低反射率工件；同系列还有 TM-2090，拥有更远工作距离。整套系统由 TM-2070 传感头、GP-2000 图像处理单元、连接线缆组成，可按需选配安装工装 TO-7900。

用途半导体晶圆键合设备，检测晶圆表面平行度；光学元件、光纤耦合精密对准；硅光、CPO 光子集成器件倾角在线监测；精密机床平台水平、倾斜度检测；自动化设备载台姿态闭环控制；光学镜头组装、精密工件平行度检测。用于设备内部嵌入式在线测量，实现自动对准与工艺反馈。

包装独立防震泡沫内衬，传感头与控制器分开定位防护，避免光学窗口磕碰。包装箱内含原厂检验报告、操作手册、通讯线缆，可选工装单独分隔放置。外层加固纸箱，进口运输防护可靠，到货开箱清点配件。光学元件包装做好防尘处理，保护镜头窗口。

使用说明固定传感头在设备工装，调整激光对准被测光学平面；信号线连接传感头与 GP-2000 控制器，接入 DC24V 电源，上位机安装配套软件。开机等待初始化，APC 功能自动调节激光功率，软件实时读取双轴倾角数值。接入 PLC 可搭建自动对准闭环系统。保持光学窗口清洁，禁止触碰镜片；远离强粉尘、强震动环境；被测工件表面需为平整光学反射面。