描述：日本pureron普瑞伦0.01μm陶瓷气体过滤器该款 UCF-CB 为在线式陶瓷气体过滤器，过滤精度 0.01μm，压力损失低，滤芯为管状陶瓷结构，耐腐蚀性良好，出厂经过超净清洗烘干，多用于半导体高纯气体管路，去除管路内微粒，保障晶圆工艺稳定性。

日本pureron普瑞伦0.01μm陶瓷气体过滤器日本pureron普瑞伦0.01μm陶瓷气体过滤器

该款 UCF-CB 为在线式陶瓷气体过滤器，过滤精度 0.01μm，压力损失低，滤芯为管状陶瓷结构，耐腐蚀性良好，出厂经过超净清洗烘干，多用于半导体高纯气体管路，去除管路内微粒，保障晶圆工艺稳定性。

产品介绍我司供应日本 pureron 普瑞伦 UCF-CB 系列在线式陶瓷气体过滤器，属于 UCF 标准短款系列，专为半导体超纯气体管路配套开发，采用一体化管状陶瓷滤芯结构，区别于金属烧结滤材，析出低、耐卤素类腐蚀气体，是刻蚀、沉积、扩散等工艺气路常用的终端过滤元件。产品性能方面，设备压力损失控制优异，氮气 10L/min、入口压力 0.1MPa 工况下，压差仅 0.01MPa，对管路供气压力影响小，不会造成后端流量波动。过滤精度 0.01μm，对超细颗粒截留效率高，出厂逐支经过粒子检测验证。支持最高 200℃烘烤除水，烘烤后内部水分可降至 5ppb 以内，适配低水含量要求的超高纯工艺气路。整体直通式在线安装结构，体积小巧，可直接串接在管路中，安装方向无强制限制，适配 VCR、Swagelok 等标准接口，更换拆装便捷。滤芯材质惰性稳定，吸附释放少，不易向高纯气体带入杂质，长期运行性能衰减平缓。用材上，壳体采用 SUS316L 不锈钢，内壁经过精密电解抛光处理；核心滤芯为多孔陶瓷材质，耐 HCl、HBr 等腐蚀性气体；密封件选用耐温耐化学氟树脂；整支产品出厂前完成纯水清洗、无尘烘干、真空封装，减少出厂自带污染物。

核心参数表

表格

用途上，半导体晶圆制造高纯气体管路终端过滤，沉积、刻蚀、离子注入、扩散工艺气路微粒管控，实验室超高纯供气系统、MEMS、光学镀膜工艺气体净化，降低颗粒缺陷，提升产品良率。包装采用真空密封袋 + 防静电纸盒，单支独立真空封装，附带出厂检测报告、规格书。使用说明：安装前保持真空包装不提前拆封；管路焊接、吹扫完成后再接入过滤器；如需烘烤，按照规定升温速率执行；定期监测压差，压差明显上升代表滤芯堵塞，及时更换；避免超压、剧烈冲击。售后服务：到货协助核对接口规格；原厂标准质保，滤芯为不可清洗消耗件，支持单独采购；可提供烘烤方案、气路配套选型咨询。