描述：霍尼韦尔 MIDAS砷化氢锗烷气体检测仪Honeywell MIDAS S2 抽取式气体探测器，MIDAS S2-E-ASH 传感模组，电化学原理，可检测砷化氢 AsH₃、锗烷 GeH₄，ppb 级微量检测，响应快，可远程取样，模组插拔式设计，半导体晶圆厂、特种气体管路泄漏监测专用，自带两级报警，适合洁净车间工艺监控。

产品型号：MIDAS S2-E-ASH
厂商性质：代理商
更新时间：2026-10-28
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

霍尼韦尔 MIDAS砷化氢锗烷气体检测仪霍尼韦尔 MIDAS砷化氢锗烷气体检测仪

Honeywell MIDAS S2 抽取式气体探测器，MIDAS S2-E-ASH 传感模组，电化学原理，可检测砷化氢 AsH₃、锗烷 GeH₄，ppb 级微量检测，响应快，可远程取样，模组插拔式设计，半导体晶圆厂、特种气体管路泄漏监测专用，自带两级报警，适合洁净车间工艺监控。产品介绍产品细节图：实拍 MIDAS S2 主机整机、彩色显示屏、操作按键、快拆传感模组、底部取样气路接口；实拍 S2-E-ASH 传感卡盒本体、铭牌二维码；实拍系统安装示意图，屏幕报警界面、参数菜单界面，气路接头结构清晰，方便核对安装与气路对接方式。产品性能：MIDAS S2 是抽取式取样气体变送器，自带气流调节，可从最远 30 米远端点位抽气采样，不用把主机直接放在高危工艺区域。这款 S2-E-ASH 卡盒专门针对半导体剧毒砷化氢、锗烷设计，电化学传感单元，ppb 级低浓度检测，适合工艺微量泄漏提前预警。设备配置两级报警，LDL/LAL 阈值出厂预设，报警信息在彩色屏幕直观显示，同时支持继电器输出、通讯信号对接厂房 DCS 系统。传感卡盒为模块化快拆结构，后期标定、更换传感器无需整台返厂，降低停机维护时长。整机抗洁净车间常见干扰气体，交叉干扰控制良好，响应时间典型 10 秒，适合连续在线 24 小时监测，适配半导体外延、离子注入、薄膜沉积等制程。主机屏幕自带状态图标、点位信息、报警记录，运维人员一眼识别设备状态，支持多类气体卡盒互换，一台主机可按需切换检测硅烷、磷化氢等其他特种气体。用材：主机外壳为工程塑料，耐腐蚀，适配洁净室环境；传感卡盒内部三电极电化学传感单元，气路采用适配半导体气体的密封材质；面板钢化防护镜片，按键耐用，气路密封件耐特种气体腐蚀。参数表

项目	参数
型号	MIDAS S2-E-ASH
检测气体	砷化氢 AsH₃ / 锗烷 GeH₄
检测原理	电化学传感器
量程	AsH₃：0–200ppbGeH₄：0–800ppb
分辨率	AsH₃：1ppbGeH₄：5ppb
精度	≤±5% 测量值
T62-5 响应时间	典型 10s
默认一级报警	AsH₃ 5ppb；GeH₄ 100ppb
默认二级报警	AsH₃ 10ppb；GeH₄ 200ppb
质保	2 年延长质保

型号：MIDAS S2-E-ASH用途：半导体晶圆工厂、外延工艺、离子注入、特种气体柜、气体管路砷化氢锗烷泄漏监测，实验室特种气体安全监控。包装：原厂独立包装，防震泡棉，包含传感卡盒、说明书、出厂测试报告；MIDAS S2 主机单独订购，卡盒属于选配传感部件。使用说明：将 S2-E-ASH 传感模组对准卡槽装入 MIDAS S2 主机，接好取样管路与排气管路，上电自检；设置报警阈值，接入厂房监控系统；定期做标定，到期直接更换传感卡盒；避免粉尘、液态污染物进入气路，取样管路建议加装前置过滤器。售后服务：传感卡盒供应、标定指导、故障排查，半导体气体检测方案技术支持。

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