描述：德国 Sonosys 定制化兆声波换能板清洗组件Sonosys 定制兆声波换能板，压电陶瓷阵列结构，工作频率 500kHz~5MHz，可直接嵌入清洗槽底板，晶圆湿法清洗使用，能量输送均匀，支持 4/6/8/12 寸晶圆，可选择 PFA 防腐涂层，适配半导体强腐蚀药液。

德国 Sonosys 定制化兆声波换能板清洗组件德国 Sonosys 定制化兆声波换能板清洗组件

Sonosys 定制兆声波换能板，压电陶瓷阵列结构，工作频率 500kHz~5MHz，可直接嵌入清洗槽底板，晶圆湿法清洗使用，能量输送均匀，支持 4/6/8/12 寸晶圆，可选择 PFA 防腐涂层，适配半导体强腐蚀药液。产品介绍产品细节图：实拍换能板本体、嵌入清洗槽装配图；配套驱动电源；不同尺寸定制款换能板样品。产品性能：德国 Sonosys 兆声波换能板采用阵列式压电陶瓷设计，区别单点式兆声波组件，大面积排布可以在整个槽内形成均匀声场，能量平稳输送到晶圆表面，减少局部能量集中带来的图案损伤。频率可选区间 500kHz 至 5MHz，低频版本适合顽固颗粒剥离，高频版本适配超精细结构、纳米制程清洗，客户可以根据工艺需求选定频率，也可以定制外形尺寸，适配 4、6、8、12 寸晶圆载具和清洗槽。基材表面可以选配 PFA 涂层，在 HF、SC1、SC2 等强腐蚀药液环境下长期稳定工作，抵御药液侵蚀，延长使用寿命。安装方式灵活，支持锁固安装或者焊接集成在清洗槽底板，一体化集成之后槽体结构简洁，方便配套自动化上下料机构。出厂经过声场扫描校验，整块板不同位置声能差异控制在很小范围，保证同批次晶圆清洗效果一致性。适配槽式湿法清洗设备，用于光刻胶去除、颗粒剥离、金属残留清洗、MEMS 器件清洗。可以搭配 Sonosys 专用兆声波发生器，实现功率连续调节、脉冲模式控制，工艺可调空间大。密封结构经过特殊设计，阻隔药液渗入压电陶瓷内部，降低漏电、损坏风险，适合半导体洁净车间 24 小时连续运行。针对客户特殊槽体尺寸、特殊药液环境，厂家可以提供定制开发服务，匹配非标清洗设备。用材：不锈钢基材，可选 PFA 防腐涂层，专用压电陶瓷元件，耐腐密封结构。参数表

表格

型号：定制款用途：半导体槽式湿法清洗、SC1/SC2 清洗、光刻胶去除、MEMS 精密清洗。包装：防震包装，换能板、连接线、出厂声场测试报告。使用说明：集成在清洗槽底部，配套对应兆声波发生器；控制药液温度保持在 20~75℃区间；定期检查密封层，发现起泡、破损及时更换；避免干振损坏压电元件。