描述：日本Technomate KPM-5030 晶圆清洗高压泵组日本 Technomate 高压泵组，专为晶圆清洗、抛光工艺设计，输出压力稳定，脉动低，输送高纯清洗液，适配半导体湿法清洗、抛光设备，保障喷淋压力平稳。

日本Technomate KPM-5030 晶圆清洗高压泵组日本Technomate KPM-5030 晶圆清洗高压泵组

日本 Technomate 高压泵组，专为晶圆清洗、抛光工艺设计，输出压力稳定，脉动低，输送高纯清洗液，适配半导体湿法清洗、抛光设备，保障喷淋压力平稳。

产品细节图包含泵主体、驱动电机、稳压管路、过滤器、压力传感器、控制箱。产品性能输出压力可控，流量脉动小，减少喷淋压力波动，和晶圆清洗、抛光工艺适配，接触液体部件低析出，满足高纯流体要求。用材过流部件耐腐蚀低析出材质，密封件适配高纯化学品，机架稳固，减震结构降低振动。型号 KPM-5030，用途半导体晶圆清洗、CMP 抛光供液、高纯药液喷淋输送。配套参数表包含流量范围、输出压力、过流材质、供电、控制信号、接口规格。整机木箱包装，管路接口做防尘封堵。使用时接入高纯供液管路，排气后启动，设置目标压力，定期更换前置滤芯，检查密封渗漏。售后提供管路调试、压力校准、易损件供应。

表格

日本 Technomate 高压泵组，专为晶圆清洗、抛光工艺设计，输出压力稳定，脉动低，输送高纯清洗液，适配半导体湿法清洗、抛光设备，保障喷淋压力平稳。

产品细节图包含泵主体、驱动电机、稳压管路、过滤器、压力传感器、控制箱。产品性能输出压力可控，流量脉动小，减少喷淋压力波动，和晶圆清洗、抛光工艺适配，接触液体部件低析出，满足高纯流体要求。用材过流部件耐腐蚀低析出材质，密封件适配高纯化学品，机架稳固，减震结构降低振动。型号 KPM-5030，用途半导体晶圆清洗、CMP 抛光供液、高纯药液喷淋输送。配套参数表包含流量范围、输出压力、过流材质、供电、控制信号、接口规格。整机木箱包装，管路接口做防尘封堵。使用时接入高纯供液管路，排气后启动，设置目标压力，定期更换前置滤芯，检查密封渗漏。售后提供管路调试、压力校准、易损件供应。

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