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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATIONulvac DTC-22工业隔膜干式真空泵真空获取ulvac DTC-22工业隔膜干式真空泵真空获取
这款隔膜式干泵无油运行,可排出带腐蚀性的工艺气体,适配电子工业真空工位需求,无油雾污染风险,可减少工艺环节的油类污染,满足洁净生产工位的真空获取要求。
产品细节图可观测泵体主体、驱动电机、进气口、排气口、减震脚垫、散热风扇,整机结构紧凑,可放置在设备机柜内部或者实验台侧边。产品性能依托隔膜往复运动形成真空,泵体内无润滑油,不会产生油蒸气返流,可耐受少量腐蚀性工艺气体,适合配套小型分析设备、半导体前级真空工位使用,运行振动小,噪音低。用材隔膜耐常规腐蚀气体,泵体内部流道防腐处理,减震脚垫降低运行振动传递,散热风扇保障长时间连续工作温升可控。型号为 DTC-22,用途覆盖电子分析设备前级真空、半导体工艺工位小型真空获取、腐蚀性气体排出、实验室无油真空需求等场景。配套参数表包含抽速、极限真空、进气口规格、噪音水平、供电电压、适配介质类型等项目。产品采用防震纸箱包装,进气口配有防尘堵头。使用时将设备放置在通风位置,接入真空管路,检查排气口通向室外,通电运行,定期更换隔膜易损件,清理进气口过滤器。售后提供安装指导、易损件更换、故障排查服务。
表格
| 参数项目 | 参数参考值 |
|---|---|
| 抽速 | 20L/min |
| 极限真空 | ≤0.08Pa |
| 进气口规格 | KF16 |
| 噪音 | <55dB |
| 供电电压 | AC220V |
| 适配介质 | 无颗粒腐蚀性气体 |
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