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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本 toray 东丽 ld-450 sd 氧气分析仪日本 toray 东丽 ld-450 sd 氧气分析仪
该款氧化锆式微量氧分析仪为分体传感结构,支持真空环境直插原位测量,不需要额外取样泵,响应速度快,专门适配真空沉积设备、手套箱、密封实验腔体的低浓度氧气持续监测,管控工艺气氛,降低氧化不良。
产品细节图可以看到直插式传感探头、薄型壁挂转换主机、采样密封接头、显示面板、信号输出端口。产品性能采用特殊涂层耐久氧化锆传感器,耐受真空工况,传感器与信号转换器分开布置,安装空间限制更小,转换器机身轻薄,适合设备机柜狭小位置安装。设备支持模拟量输出、串行通讯输出,氧含量超标时可以联动报警回路,实时反馈腔体内部氧浓度,在 PVD、CVD 镀膜、退火等工艺中,用来监控腔体气氛,防止薄膜、基材氧化变色。用材气路接头洁净密封,适配高洁净真空配套工况,主机壳体防尘,传感探头涂层提升抗污染能力,延长传感器使用寿命。型号 LD-450、SD,用途包含真空沉积腔体氧监测、锂电手套箱气氛监控、惰性气体热处理炉检测、光电实验低氧环境监测、半导体镀膜在线控氧。配套参数表包含氧测量范围、精度、响应时间、输出信号、供电。产品防震纸箱包装,采样口配有密封保护堵头,传感器单独隔离包装,避免磕碰涂层。使用时将探头直接接入真空腔体,完成气路检漏,通电预热后投入监测,按照厂家周期更换传感元件,定期校验零点。售后提供气路安装调试、传感器更换指导、通讯对接、故障排查。
表格
| 参数项目 | 参数参考值 |
|---|---|
| 测量范围 | 0~1000ppm |
| 测量精度 | ±2%FS |
| 响应时间 | <10s |
| 输出 | 4-20mA / RS232C |
| 供电 | AC220V |
| 采样方式 | 直插原位式,无需取样泵 |
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