描述：日本神荣shinyei CRDS光腔衰荡水分分析仪这款采用光腔衰荡光谱技术的微量水分检测设备，用于高纯工艺气体当中痕量水分检测。检测下限很低，适合半导体以及其他对水汽管控严格的工况。设备配有吹扫接口，降低腔体残留带来的干扰，信号输出方式丰富，可以对接采集系统。支持台式、壁挂等多种布置方式，整机体积适中。出厂经过计量溯源比对，检测数据可信，华中地区可协助安装调试。

日本神荣shinyei CRDS光腔衰荡水分分析仪日本神荣shinyei CRDS光腔衰荡水分分析仪

这款采用光腔衰荡光谱技术的微量水分检测设备，用于高纯工艺气体当中痕量水分检测。检测下限很低，适合半导体以及其他对水汽管控严格的工况。设备配有吹扫接口，降低腔体残留带来的干扰，信号输出方式丰富，可以对接采集系统。支持台式、壁挂等多种布置方式，整机体积适中。出厂经过计量溯源比对，检测数据可信，华中地区可协助安装调试。

产品介绍

产品细节图主机为紧凑箱体，台式款式正面配有触控显示屏；壁挂机型预留固定孔位；侧面布置高纯气体进出接头，可选行业通用的超净接头，同时设置吹扫接口；背部为通讯与模拟输出端子。腔体内部精密加工，减少内壁吸附水汽；管线接口防护到位，拆装的时候方便保护密封面；整机重量适中，在气柜附近或者分析间都可以布置，布线走线清晰规整。

产品性能依靠光腔衰荡光谱原理，对气体当中微量水汽进行检测，响应速度稳定，适合连续在线监测高纯气路。自带腔体吹扫功能，可以快速置换腔内气体，降低上次样品残留对下一次测量的影响。具备多种输出选项，可以把测量信号上传到中控系统，同时支持报警输出，水分超标给出提示。出厂使用可溯源标准装置比对，保证测量结果具备溯源性。

用材气体接触腔体加工精密，内壁经过处理，降低水汽吸附；高纯接头选用适配半导体行业的规格；外壳金属喷涂防护；光学组件做防震固定；密封配件析出控制严格；通讯接口带有防护结构，减少现场电磁干扰带来的信号波动。

参数表

表格

型号mini CRDS‑H₂O，又称 DewTracer mini，是本款微量水分析仪固定型号。订货的时候确认需要的接头类型、输出信号形式、布置方式；同时确认待测气体种类，腐蚀性气体需要提前评估适配性。

用途半导体高纯供气监测、固态电池手套箱水汽监控、OLED 工艺气路检测、锂电池高纯气体管路监测、高阻隔薄膜研发测试，用于管控工艺气体当中痕量水分，避免水汽影响制程良率。

包装定制防震木箱，光学主机单独缓冲保护，防止震动损伤腔体；高纯接头单独包裹，保护密封面；箱内附带溯源校准证书、操作手册；配套通讯线缆、吹扫管线按需随货发出。

使用说明安装位置保持稳定，避开剧烈震动；连接样气管路之前充分吹扫管线，减少管路内部水汽；上电之后按照说明完成腔体吹扫，等待仪器稳定再采集读数；定期用标准气源核查；拆装接头的时候保护密封面，避免划伤；长期停机时使用惰性气体封存腔体。