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激光器比色计处理系统自准直仪

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KPL-C13-W日本KANKEN干蚀工艺专用废气处理装置日本KANKEN干蚀工艺专用废气处理装置 KPL-C13-W 是一款专为半导体干蚀工艺开发的高粉尘废气无害化处理装置，是 KPL-C13 系列的金属蚀刻增强版。它采用前后双净化器结构，可安全处理 HBr、BCl₃等高水解性、高粉尘负载的工艺废气，是 200mm/300mm 晶圆厂金属蚀刻工序的核心环保设备。

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2026-04-27

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KPL-C13日本KANKEN半导体废气处理设备日本KANKEN半导体废气处理设备 KPL-C13 是一款多工艺兼容型半导体废气处理装置，专为 200mm/300mm 晶圆产线设计，可同时处理含 CF₄的 PFCs、卤素气体、可燃气体（SiH₄、TEOS）及副产氟基气体，实现多种复杂工艺废气的一站式无害化处理，是半导体蚀刻、沉积等多工序集中处理的高效环保设备。

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2026-04-27

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KPL-WTR日本KANKEN半导体废气处理设备日本KANKEN半导体废气处理设备 KPL-WTR 是一款大流量、高能效、紧凑型半导体工艺废气处理装置，专为 300mm 先进晶圆产线设计，是 KPL 系列中处理能力强的型号。它采用新型高温喷枪技术，可高效分解含 CF₄在内的高浓度全氟化碳（PFCs），同时兼顾节能与空间利用，是应对半导体蚀刻 / 沉积工艺中强效温室气体排放的核心环保设备。

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2026-04-27

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KT1000MOC日本KANKEN工艺废气处理设备热氧化分解装置日本KANKEN工艺废气处理设备热氧化分解装置、KT1000MOC 是日本 KANKEN Techno 专为MO-CVD 工艺开发的大流量废气无害化处理装置，采用 “反应热自维持氧化” 技术，无需燃料气、无需持续电加热，可安全、高效处理 MO 源、NH₃、H₂、SiH₄等复杂工艺废气，是 LED、功率器件、第三代半导体制造的核心环保设备。

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2026-04-27

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KT1000EPS日本康肯处理设备高浓度氢气处理废气日本康肯处理设备高浓度氢气处理废气 KT1000EPS 是日本 KANKEN Techno 专为半导体外延工艺（如 SiC）开发的高浓度氢气处理废气处理装置，采用独特的 “自维持燃烧 + 前后洗涤” 工艺，可安全、高效地处理外延工艺中产生的高浓度氢气及含氯、含硫等复杂废气，是功率器件与第三代半导体制造的关键环保设备。

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2026-04-27

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