MC‑7000 系列日本 LINTEC 高速响应热式质量流量控制器
日本 LINTEC 高速响应热式质量流量控制器,采用热式传感方式,可对各类工艺气体实现快速、稳定、精准的流量测量与闭环调节。相比常规 MFC,在响应速度、流量稳定性、抗压力波动方面表现突出,适配镀膜、蚀刻、清洗、掺杂等对气体配比时序要求严格的自动化工艺。
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2026-05-22 - 02
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