CLH-21CD日本 JTEKT高温洁净烘箱半导体晶圆烘烤炉
日本 JTEKT高温洁净烘箱半导体晶圆烘烤炉
CLH-21CD 是日本 JTEKT Thermo Systems(原 KOYO Thermo)推出的高温洁净烘箱,专为半导体、光电、精密零部件等高洁净热处理场景设计。它通过耐热 HEPA 过滤器和强制热风循环系统,在高温环境下维持 Class 100(ISO 5)洁净度,可完成晶圆 / 玻璃基板烘烤、聚酰亚胺固化、退火等工艺,是洁净制程的核心设备。
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更新日期
2026-04-29 - 02
厂商性质
代理商 - 03
浏览量
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