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KPL-C13日本KANKEN半导体废气处理设备
日本KANKEN半导体废气处理设备
KPL-C13 是一款多工艺兼容型半导体废气处理装置，专为 200mm/300mm 晶圆产线设计，可同时处理含 CF₄的 PFCs、卤素气体、可燃气体（SiH₄、TEOS）及副产氟基气体，实现多种复杂工艺废气的一站式无害化处理，是半导体蚀刻、沉积等多工序集中处理的高效环保设备。
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更新日期
2026-04-27
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KPL-WTR日本KANKEN半导体废气处理设备
日本KANKEN半导体废气处理设备
KPL-WTR 是一款大流量、高能效、紧凑型半导体工艺废气处理装置，专为 300mm 先进晶圆产线设计，是 KPL 系列中处理能力强的型号。它采用新型高温喷枪技术，可高效分解含 CF₄在内的高浓度全氟化碳（PFCs），同时兼顾节能与空间利用，是应对半导体蚀刻 / 沉积工艺中强效温室气体排放的核心环保设备。
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2026-04-27
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KT1000MOC日本KANKEN工艺废气处理设备热氧化分解装置
日本KANKEN工艺废气处理设备热氧化分解装置、KT1000MOC 是日本 KANKEN Techno 专为MO-CVD 工艺开发的大流量废气无害化处理装置，采用 “反应热自维持氧化” 技术，无需燃料气、无需持续电加热，可安全、高效处理 MO 源、NH₃、H₂、SiH₄等复杂工艺废气，是 LED、功率器件、第三代半导体制造的核心环保设备。
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2026-04-27
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KT1000EPS日本康肯处理设备高浓度氢气处理废气
日本康肯处理设备高浓度氢气处理废气
KT1000EPS 是日本 KANKEN Techno 专为半导体外延工艺（如 SiC）开发的高浓度氢气处理废气处理装置，采用独特的 “自维持燃烧 + 前后洗涤” 工艺，可安全、高效地处理外延工艺中产生的高浓度氢气及含氯、含硫等复杂废气，是功率器件与第三代半导体制造的关键环保设备。
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2026-04-27
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KT1000MFS日本康肯半导体 LCD 产线废气处理设备
日本康肯半导体 LCD 产线废气处理设备
KT1000MFS 是日本 KANKEN Techno 推出的紧凑型、低成本高负载废气处理装置，专为 200mm/300mm 半导体生产线及 LCD 等高负载产线的工艺废气无害化处理设计。它以节省空间、低维护成本为核心优势，是高密度洁净厂房中高负载废气处理的高效解决方案。
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