D700MG日本堀场horiba 热式气体质量流量控制器
日本堀场horiba 热式气体质量流量控制器。采用压力非敏感型测量技术,内置多组高精度压力传感器,实时补偿压力波动影响,在压力突变工况下仍保持流量稳定。100ms 极速响应,控制精度高达 **±0.3% FS(25℃),重复性 ±0.1% FS,满足 3nm 及以下优良制程严苛要求。
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更新日期
2026-06-02 - 02
厂商性质
代理商 - 03
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