日本 PILLAR气动波纹管泵（风囊泵）产品介绍

日本 PILLAR气动波纹管泵（风囊泵）产品介绍

在半导体 / FPD 制程、精细化工、制药、环保水处理等强腐蚀、高洁净、防爆工况中，普通金属泵易腐蚀污染、机械密封泵易泄漏、传统隔膜泵脉动大且寿命短。日本 PILLAR（皮拉）作为高纯氟树脂波纹管泵全球热销款，其 PE-MA 系列以全 PFA/PTFE 接液、无密封零泄漏、低脉动、长寿命、气动防爆为核心，成为高纯化学品输送的热销款。

一、型号定位与核心用途

·       PE-20MA：中流量主力，32 L/min，半导体湿法 / 化工循环通用。

·       PE-40MA：大流量机型，60 L/min，生产线批量供液 / 大循环系统。

·       PE-80MA：超大流量机型，82 L/min，中温上限 80℃，高流量腐蚀流体输送。定位：中温型（10–100℃，PE-80MA 为 10–80℃）高纯耐腐蚀气动波纹管泵，用于强酸强碱 / 有机溶剂 / 高纯药液的输送、循环、加注。

二、工作原理：双波纹管往复容积式

·       采用双波纹管对称结构，压缩空气驱动一侧波纹管伸展、另一侧收缩，形成往复容积变化；

·       配合PTFE 单向阀控制流向，完成吸排液循环；

·       无旋转部件、无机械密封，从根源杜绝泄漏与金属污染；

·       波纹管高柔性抗疲劳，弯曲处 R 角优化，寿命可达数万小时。

三、       核心技术参数（原厂规格）

四、       1. 基础性能

2. 结构与接口

·       泵体：PFA 一体成型，高洁净、耐酸碱 / 有机溶剂；

·       波纹管：高纯 PTFE（改性抗疲劳），带序列号追溯；

·       阀球 / 阀座：PTFE，低磨损、密封严；

·       接口规格：

o       PE-20MA：Rc1/2"（NPT1/2"）

o       PE-40MA：Rc3/4"

o       PE-80MA：Rc1"

四、五大核心技术优势

1. 全氟树脂接液，高纯耐腐蚀

·       所有接液部件为PFA/PTFE，耐受硫酸、盐酸、硝酸、蚀刻液、显影液、有机溶剂；

·       无金属离子析出，满足半导体电子级（EL）/ 超高纯（UP）要求。

2. 无密封零泄漏，本质安全

·       无轴封、无填料、无旋转摩擦，消除泄漏点；

·       气动驱动（无需用电），防爆等级 Ex d IIB T4，适配易燃易爆 / 防爆车间。

3. 低脉动输送，流量平稳

·       双波纹管对称往复，自带流量缓冲效应，脉动远低于传统隔膜泵；

·       可选配脉动调节器（PA 系列），进一步降低脉动，保护精密管路与传感器。

4. 长寿命免维护，运行成本低

·       波纹管抗弯曲疲劳设计，R 角分散应力，寿命可达30,000 小时 +；

·       结构极简，无易损件，日常仅需检查气源与管路，维护成本极低。

5. 强自吸可干转，工况适应性强

·       自吸高度可达6m，可空转 / 干转不伤泵，无惧气蚀与断液；

·       流量随气压0.2–0.5MPa线性可调，适配不同工况流量需求。

五、典型应用场景

1. 半导体 / FPD 行业

·       湿法清洗：SC-1/SC-2、硫酸双氧水、盐酸输送与循环；

·       蚀刻工序：显影液、蚀刻液、剥离液精准供液；

·       高纯水处理：UPW/DIW循环与转移。

2. 精细化工行业

·       酸碱药液输送、溶剂循环、反应釜供料、废水处理（含氟 / 含氯废水）。

3. 制药与食品行业

·       高洁净药液、缓冲液、溶剂输送，符合GMP要求。

4. 环保与新能源

·       锂电池电解液、酸碱清洗液输送；

·       光伏 / 新能源腐蚀流体循环系统。

六、总结

PILLAR PE-20MA/PE-40MA/PE-80MA 是高纯腐蚀流体输送气动波纹管泵，以全氟树脂材质、无密封零泄漏、低脉动、长寿命、气动防爆五大核心优势，解决半导体、化工、制药等行业的腐蚀、污染、泄漏、脉动、防爆痛点。