描述：韩国FEMTOSCIENCE大容积等离子系统清洗机
设备采用一体化立式柜式机身设计，搭载工业级智能触摸编程控制系统，内置同系列更大容积的垂直式高洁净度不锈钢真空处理腔体，在低气压真空环境下激发稳定均匀的等离子体，以干法物理化学协同作用完成工件表面处理。全程无需化学有机溶剂，无废水废液污染，

韩国FEMTOSCIENCE大容积等离子系统清洗机

产品介绍

本产品为韩国 FEMTOSCIENCE 品牌 VITA 12 系列立式真空等离子清洗机，是专为半导体晶圆、薄件材料、中高批量工业生产设计的高产能工业级等离子表面处理系统。

设备采用一体化立式柜式机身设计，搭载工业级智能触摸编程控制系统，内置同系列更大容积的垂直式高洁净度不锈钢真空处理腔体，在低气压真空环境下激发稳定均匀的等离子体，以干法物理化学协同作用完成工件表面处理。全程无需化学有机溶剂，无废水废液污染，属于绿色洁净干法工艺，可精准实现晶圆、薄件表面有机污染物去除、微观杂质清洗、材料表面亲水化活化、界面附着力提升等处理效果。

垂直式腔体结构专为晶圆、薄件等对放置方式敏感的工件优化，处理过程无机械应力，避免工件变形或损伤；同时更大的腔体容积支持多件工件 / 晶圆同时装载处理，处理效率显著提升，适配中高批量工业生产需求；整机支持多种工艺气体灵活切换，功率、真空度、处理时间全参数可编程调控，内置多套工艺配方存储调用，可满足不同工业材料的处理需求；腔体自带可视化观察窗口，运行状态实时可见，搭配多重安全联锁防护设计，机身运行稳定可靠。广泛应用于半导体晶圆处理、中高批量微电子元器件生产、高分子薄件材料改性、精密光学件处理、医疗器械耗材批量生产等场景，解决材料粘胶差、结合力不足、表面活性低等行业痛点。

韩国FEMTOSCIENCE大容积等离子系统清洗机产品核心特性

韩国原厂工业级等离子技术

源自韩国 FEMTOSCIENCE 专业等离子设备品牌，核心等离子技术成熟稳定，等离子密度分布均匀，处理效果一致性高，是半导体与工业领域高可靠性设备。

大容积垂直式晶圆友好腔体

同系列更大的垂直式腔体结构，专为晶圆、薄件等对放置方式敏感的工件优化，处理过程无机械应力，同时支持多件工件同时装载，兼顾了工件保护与生产效率。

高产能工业级批量处理能力

更大的腔体容积带来更高的处理产能，可满足中高批量工业生产需求，大幅缩短生产周期，在保证处理均匀性的同时提升整体生产效率。

智能触屏工业级控制系统

搭载高清工业触控触摸屏，全流程参数可视化调节，支持工艺程序自定义编辑、配方存储与批量调用，适配产线级稳定运行需求，操作便捷高效。

多工艺适配工业材料处理

兼容氧气、氩气、氮气等多类工艺工作气体，适配半导体、微电子、塑胶、金属、玻璃、医疗器械、高分子材料等绝大多数工业材质工件，覆盖中高批量工业生产全场景表面处理需求。