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产品分类 / PRODUCT
更新时间:2026-06-10
浏览次数:102这是日本本多电子半导体级高频兆声波清洗机,核心是单晶石英振动体,1MHz 高频、低损伤、超高洁净度,专门给晶圆 / 精密器件做微污染清洗,原装全新,半导体产线常用。
型号:W-357-1MQG-SKC(单晶石英振动)
振荡频率:1MHz(高频兆声波)
额定输出:12W(功率可调)
振荡模式:单频振荡,频率稳定度<0.1%
电源:AC100–240V,50/60Hz,300VA,全球通用
尺寸:180×250×100mm(不含突起)
重量:约 2.2kg,小巧好放
振动体:单晶石英,接液仅石英玻璃,无橡胶溶出
冷却:氮气冷却振子,连续工作不飘频、不升温
适配液体:各类半导体清洗药液(酸 / 碱 / 溶剂均可)
1MHz 属于兆声波级别,比普通 40kHz 超声波细得多,能洗掉0.1μm 级微颗粒(普通机搞不定)。
单晶石英振动体,能量传导均匀、衰减小,整片晶圆清洗一致性好,边缘 / 凹槽也能洗到。
只有石英玻璃碰药液,无橡胶垫片 / 密封圈,杜绝溶出污染,半导体高洁净场景刚需。
高频 + 软空化,冲击力极小,3nm 制程、超薄晶圆、微小线路都不会洗崩、洗裂。
对比传统流水 / 浸泡清洗,化学品用量省很多,环保又降成本。
氮气冷却振子,长时间工作频率不飘、温度不升,良率稳定。
数字定功率控制,电压 / 温度波动时输出不变,清洗效果一致。
面板简洁,功率 / 频率一键设,开机自检、故障报警,新手也能上手。
带 RS-422A 接口,可连 PLC / 电脑,数据实时监控、可导出,符合半导体产线追溯要求。
半导体:硅晶圆、蓝宝石衬底、CMP 后残留、光刻胶 / 聚合物去除、栅电极清洗。
精密光学:镜头、滤光片、棱镜、镀膜元件(微颗粒 / 指纹清洗)。
电子:MEMS、传感器、微型线路板、引线框架(低损伤除污)。
材料:超薄玻璃、陶瓷薄片、金属箔(无腐蚀、无损伤清洗)。
石英振动体:每次用完用超纯水冲净,软布轻擦,避免硬物刮花。
冷却系统:定期检查氮气压力,保证冷却效果。
校准:建议每半年做一次频率 / 功率校准,稳定输出。
存放:干燥无尘环境,长期不用断电、盖防尘罩。
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