日本SAMCO UV-1紫外臭氧清洗机晶圆表面处理
日本SAMCO UV-1紫外臭氧清洗机晶圆表面处理该款台式紫外光臭氧清洗设备,常压干式工艺,搭配 UV 光源、臭氧生成与加热载台,用于半导体基板有机污染物去除、光刻胶灰化、表面活化改性,无需真空,适合实验室研发试样前处理。
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2026-10-23 - 02
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