描述：韩国fMTK单一气源式紧凑型无轴封气动隔膜泵
本产品为韩国 fMTK 品牌 PSR 系列紧凑型无轴封气动隔膜泵，是专为半导体、化工等高洁净、腐蚀性工艺场景设计的小型化流体输送设备，广泛配套于小型湿制程设备、实验室药液循环系统、精密半导体设备等场景。

韩国fMTK单一气源式紧凑型无轴封气动隔膜泵

产品介绍

本产品为韩国 fMTK 品牌 PSR 系列紧凑型无轴封气动隔膜泵，是专为半导体、化工等高洁净、腐蚀性工艺场景设计的小型化流体输送设备，广泛配套于小型湿制程设备、实验室药液循环系统、精密半导体设备等场景。

泵体采用紧凑型无轴封结构设计，尺寸小巧，专为安装空间有限的小型设备优化，不占用过多安装空间；无轴封结构杜绝介质泄漏，避免药液二次污染，适配半导体高洁净工艺标准；采用单一气源驱动设计，最高工作气压仅 60PSI，低气压运行降低管路压力安全隐患，适配小型设备低压工艺需求；提供 PSR025（25LPM）、PSR050（50LPM）两种小流量规格，可根据小型工艺需求灵活选择，适配实验室设备、精密药液循环等低流量场景；可长时间连续运行，适配小型设备高频次工况，是高洁净腐蚀性药液小型输送的理想配套设备。

韩国fMTK单一气源式紧凑型无轴封气动隔膜泵产品核心特性

紧凑型设计，适配有限安装空间

泵体尺寸小巧，专为安装空间有限的小型半导体设备、实验室仪器优化设计，无需预留大型泵体安装位置，适配小型设备集成需求。

无轴封零泄漏，保障高洁净工艺

无轴封结构杜绝介质泄漏，避免药液污染，符合半导体高洁净工艺标准，适配晶圆清洗、小型药液循环等敏感工艺。

低气压驱动，运行安全稳定

最高工作气压仅 60PSI，低气压运行设计，降低管路压力安全隐患，同时减少设备运行噪音，适配实验室与小型设备场景。

两种小流量规格，覆盖小型工艺需求

提供 25/50LPM 两种小流量规格，可根据小型工艺需求灵活选型，适配实验室实验、精密药液循环等低流量场景。

耐腐蚀材质，适配多种药液输送

泵体采用耐腐蚀材质，可安全输送多种腐蚀性药液，适配不同半导体湿制程工艺需求，设备维护成本低。