描述：韩国fMTK工艺流体输送泵无轴封隔膜泵
本产品为韩国 fMTK 品牌 PXH 系列高温型改性全氟无轴封气动隔膜泵，是专为半导体、化工等高洁净、高温、高腐蚀性工艺场景设计的单一气源式流体输送设备，广泛配套于高温高腐蚀性湿制程设备、药液循环系统、等离子清洗机等设备。

韩国fMTK工艺流体输送泵无轴封隔膜泵

产品介绍

本产品为韩国 fMTK 品牌 PXH 系列高温型改性全氟无轴封气动隔膜泵，是专为半导体、化工等高洁净、高温、高腐蚀性工艺场景设计的单一气源式流体输送设备，广泛配套于高温高腐蚀性湿制程设备、药液循环系统、等离子清洗机等设备。

泵体采用改性全氟材质 + 无轴封结构，最高工作温度可达 145℃，可稳定输送高温强酸、强碱、腐蚀性药液；改性全氟材质在保留强耐腐蚀性的同时，优化了高温工况下的耐磨损性能，减少长期运行的材质损耗；无轴封结构杜绝介质泄漏，避免药液二次污染， 适配半导体高洁净工艺标准；采用单一气源驱动设计，无需复杂的电力驱动系统，安装调试简单，适配小型实验室高温设备与产线改造；提供 PXH030（30LPM）、PXH060（60LPM）、PXH140（140LPM）三种流量规格，可根据工艺需求灵活选择，从小型实验到中批量产线均能适配，是高洁净高温腐蚀性药液输送的理想设备。

韩国fMTK工艺流体输送泵无轴封隔膜泵产品核心特性

145℃高温耐温，适配高温腐蚀性工艺场景

最高工作温度可达 145℃，可稳定输送高温强酸、强碱、腐蚀性药液，适配半导体湿制程、高温药液循环等工艺需求。

改性全氟材质，耐高温 + 耐腐蚀双重优化

泵体采用改性全氟材质，耐强酸、强碱、强腐蚀性药液，同时提升了高温工况下的耐磨损性能，延长设备使用寿命，适配长期高温腐蚀性工况。

无轴封零泄漏，保障高洁净工艺

无轴封结构杜绝介质泄漏，避免药液污染， 符合半导体高洁净工艺标准，适配晶圆清洗、高温腐蚀性药液循环等敏感工艺。

多流量规格，覆盖全场景需求

提供 30/60/140LPM 三种流量规格，可根据工艺需求灵活选型，从小型实验室高温腐蚀性工艺到中批量产线均能适配。

单一气源驱动，安装维护便捷

单一气源设计，无需电力驱动，安装调试简单，维护成本低，适配无电力供应的危险环境与小型高温设备场景。