描述：日本康肯处理设备高浓度氢气处理废气
KT1000EPS 是日本 KANKEN Techno 专为半导体外延工艺（如 SiC）开发的高浓度氢气处理废气处理装置，采用独特的 “自维持燃烧 + 前后洗涤" 工艺，可安全、高效地处理外延工艺中产生的高浓度氢气及含氯、含硫等复杂废气，是功率器件与第三代半导体制造的关键环保设备。

日本康肯处理设备高浓度氢气处理废气

KT1000EPS 是日本 KANKEN Techno 专为半导体外延工艺（如 SiC）开发的高浓度氢气处理废气处理装置，采用独特的 “自维持燃烧 + 前后洗涤" 工艺，可安全、高效地处理外延工艺中产生的高浓度氢气及含氯、含硫等复杂废气，是功率器件与第三代半导体制造的关键环保设备。

日本康肯处理设备高浓度氢气处理废气

五大核心产品优势

1. 氢气自维持燃烧，节能设计大幅降低能耗

利用可燃气体（氢气）的自维持燃烧特性，当引入高浓度氢气时，加热器功率几乎为零，无需持续电加热，大幅降低运行能耗，是高氢气工艺的节能 方案。

2. 高浓度氢气处理专用安全设计，杜绝工艺风险

搭载 KANKEN  高浓度氢气处理电加热器安全设计，可安全处理外延工艺中的高浓度氢气废气，无燃烧中断风险，对流量波动具备 抵抗力，适配工艺流量变化。

3. 前后双向洗涤工艺，无堵塞处理复杂废气

入口洗涤器预先去除水解气体与可溶性气体，出口洗涤器消除燃烧副产物，可无堵塞处理与水分反应形成固体的气体（如 TCS、DCS），避免设备堵塞停机，保障产线连续运行。

4. 适配 SiC 等第三代半导体外延工艺，工艺兼容性强

专为半导体外延工艺（含 SiC）设计，可稳定处理高浓度氢气及外延工艺产生的复杂废气，在功率器件、SiC/GaN 等第三代半导体制造工艺中拥有成熟验证业绩。

5. 多腔连接支持，适配大规模产线部署

支持多腔连接，可同时对接多台外延设备，减少单腔设备数量，降低产线部署成本与占地面积，是大规模功率器件产线的理想选择。

典型应用场景

半导体 / 功率器件行业：SiC、GaN 等第三代半导体外延工艺废气处理，高浓度氢气无害化处理。

电子制造行业：功率器件外延工艺、IGBT 制造过程中的废气处理。

先进半导体工厂：含高浓度氢气的工艺废气处理，适配高密度洁净厂房部署。