描述：日本KANKEN工艺废气处理设备热氧化分解装置、KT1000MOC 是日本 KANKEN Techno 专为MO-CVD 工艺开发的大流量废气无害化处理装置，采用 “反应热自维持氧化" 技术，无需燃料气、无需持续电加热，可安全、高效处理 MO 源、NH₃、H₂、SiH₄等复杂工艺废气，是 LED、功率器件、第三代半导体制造的核心环保设备。

日本KANKEN工艺废气处理设备热氧化分解装置

KT1000MOC 是日本 KANKEN Techno 专为MO-CVD 工艺开发的大流量废气无害化处理装置，采用 “反应热自维持氧化" 技术，无需燃料气、无需持续电加热，可安全、高效处理 MO 源、NH₃、H₂、SiH₄等复杂工艺废气，是 LED、功率器件、第三代半导体制造的核心环保设备。

日本KANKEN工艺废气处理设备热氧化分解装置

五大核心产品优势

1. 反应热自维持技术，H₂处理时零耗电

利用大流量 NH₃、H₂反应释放的热量实现自维持燃烧，处理高浓度氢气时加热器功率几乎为零，无需持续电加热，大幅降低运行能耗，是 MO-CVD 工艺的节能方案。

2. 无燃料气、无排水设计，绿色环保

全程不使用化石燃料，不产生额外 CO₂排放；同时采用无排水工艺，避免废水处理成本与二次污染，符合半导体工厂低碳环保与洁净厂房管理要求。

3. 全系列安全防护，杜绝工艺风险

搭载*的故障保护机制：入口温度传感器实时监测气体温度，异常时自动启动紧急泄压装置；逆火防止安全阀可快速切断气流，杜绝回火风险，保障 MO-CVD 工艺稳定运行。

4. 适配大流量 MO-CVD 工艺，处理效率行业

专为 MO-CVD 工艺的大流量、高浓度复杂废气设计，可高效氧化分解 MO 源、NH₃、H₂、SiH₄等多种成分，处理效率高，满足严苛环保法规与工艺安全要求。

5. 成熟应用验证，适配 LED 与功率器件产线

在全球半导体工厂的 LED、功率器件、第三代半导体制造工艺中拥有大量成功应用案例，设备稳定性与工艺兼容性经过市场长期验证，是大规模 MO-CVD 产线的标配设备。

典型应用场景

LED 行业：蓝绿光 LED、Mini/Micro LED 外延工艺 MO-CVD 废气处理。

功率器件行业：IGBT、MOSFET 等功率器件外延工艺废气处理。

第三代半导体行业：SiC、GaN 外延工艺 MO-CVD 废气无害化处理。

先进半导体工厂：MO-CVD 工艺集中废气处理系统部署，适配高密度洁净厂房。