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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本Shibaura 皮拉尼真空计 真空变送器
PG 小量程款:1~1000Pa,高真空侧腔体监测;
PG 标准款:0.1Pa~100kPa,行业通用主力,从高真空到粗真空全覆盖;
不同后缀代码区分量程、输出规格、接口螺纹(常用 R1/8、G1/8 标准真空螺纹)。
日本Shibaura 皮拉尼真空计 真空变送器
体积小巧易安装:小型圆柱本体,标准真空螺纹直接拧入腔体预留接口,不用转接法兰,节省设备空间。
抗油气耐受性好:相比冷阴极规,少量油雾、挥发药剂不会快速损坏传感丝,真空泵含油工况可用。
标准化信号输出:主流 0~10V 电压或 4-20mA 模拟信号,直接对接 PLC、数显仪表,远程采集真空数据。
温度补偿电路内置:环境温度波动自动补偿,车间温变环境测量数据不易漂移。
功耗低、长期连续运行:DC 低压供电,适合设备 24 小时不间断量产工况。
可选分体表头:探头 + 外置数显表成套,就地直观查看真空数值。
真空镀膜:光学镀膜、PVD 设备腔体粗真空监测;
半导体设备:晶圆清洗腔体、干法工艺管路负压管控;
真空热处理:回火炉、钎焊炉炉内真空监控;
通用真空设备:检漏台、真空包装、树脂脱泡机负压检测。
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