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日本Shibaura 皮拉尼真空计 真空变送器

描述:日本Shibaura 皮拉尼真空计 真空变送器。依靠气体热传导变化测算真空度,结构小巧,螺纹直装在真空腔体、管路接口,覆盖低真空~中真空常用量程。整机稳定性强,耐少量油气污染,标配标准工业输出信号,广泛配套真空镀膜、半导体湿法 / 干法设备、真空热处理、检漏设备做真空度实时监测。

  • 产品型号:PG 系列
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-06-05
  • 访问量:27
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本Shibaura 皮拉尼真空计 真空变送器

一、工作原理

内部搭载皮拉尼热丝传感元件,通电后热丝保持恒定温度;真空腔体内气体分子密度随真空度变化,气体分子越多带走热量越快、热丝温度越低,反之真空越高散热越慢。电路采集热丝阻值变化换算成对应真空数值,把真空压力转为标准化电信号输出。

二、系列量程划分(PG 主力规格)

  1. PG 小量程款:1~1000Pa,高真空侧腔体监测;

  2. PG 标准款:0.1Pa~100kPa,行业通用主力,从高真空到粗真空全覆盖;

    不同后缀代码区分量程、输出规格、接口螺纹(常用 R1/8、G1/8 标准真空螺纹)。

日本Shibaura 皮拉尼真空计 真空变送器

三、产品核心特点

  1. 体积小巧易安装:小型圆柱本体,标准真空螺纹直接拧入腔体预留接口,不用转接法兰,节省设备空间。

  2. 抗油气耐受性好:相比冷阴极规,少量油雾、挥发药剂不会快速损坏传感丝,真空泵含油工况可用。

  3. 标准化信号输出:主流 0~10V 电压或 4-20mA 模拟信号,直接对接 PLC、数显仪表,远程采集真空数据。

  4. 温度补偿电路内置:环境温度波动自动补偿,车间温变环境测量数据不易漂移。

  5. 功耗低、长期连续运行:DC 低压供电,适合设备 24 小时不间断量产工况。

  6. 可选分体表头:探头 + 外置数显表成套,就地直观查看真空数值。

四、适用场景

  1. 真空镀膜:光学镀膜、PVD 设备腔体粗真空监测;

  2. 半导体设备:晶圆清洗腔体、干法工艺管路负压管控;

  3. 真空热处理:回火炉、钎焊炉炉内真空监控;

  4. 通用真空设备:检漏台、真空包装、树脂脱泡机负压检测。

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