描述：日本CANON ANELVA 宽量程电离真空计控制器
M-833HG 是日本 CANON ANELVA 专为 MG-2 系列微型 B-A 电离真空规配套开发的真空控制主机，可搭配选配 TC 热传导真空规组合使用，依托灯丝自动切换机制，完成从常压到超高真空区间的连续压力采集。设备内置自动量程识别逻辑，可随腔体内真空度变化自主切换测量档位，无需人工调整。

核心参数

1. 配套规管：专用适配 MG-2 系列微型 B-A 电离真空规，可加装 TC 热传导规拓展常压测量区间

2. 测量覆盖区间：可覆盖常压至超高真空宽幅压力区间，设备自动识别切换测量档位

3. 阈值输出：标配两路开路集电极设定点输出，用于真空设备启停、充气、镀膜工序联锁

4. 拓展能力：机身预留插槽，最多可加装四块功能拓展板，丰富数据输出与外部交互能力

5. 信号输出：搭载多规格模拟电压输出通道，可同步向外传输线性、对数真空压力数值

6. 供电规格：宽幅交流通用输入，适配各国厂区标准工业市电，整机功耗偏低

7. 机身结构：标准机架式一体化金属壳体，可直接安装设备控制柜机架，也可台面摆放

8. 合规标准：整机通过 CE 认证，元器件满足 RoHS 管控要求，适配半导体洁净车间准入规范

日本CANON ANELVA 宽量程电离真空计控制器

适用场景

1. 半导体溅射、PVD 薄膜产线

   多腔体溅射设备实时监控腔体内真空压力，两路设定触点联动腔体充气、靶材起辉工序，可接入德国成套真空自动化控制系统稳定管控镀膜工艺。

2. 光伏电池薄膜沉积设备

   管式真空腔体全程真空度采集，保障薄膜沉积均匀度，配套美国光伏产线数据采集系统完成工艺数据留存。

3. 高校、科研院所超高真空实验室

   表面物理、材料真空实验腔体压力长期监测，宽量程覆盖抽气、高真空、超高真空全流程，适配日本进口真空腔体组件配套使用。

4. 多腔体自动化真空成套设备

   半导体刻蚀、封装多腔机组分腔压力同步采集，远程通讯对接全厂中控，统一管控各腔体真空状态。

5. 光学、电子元器件真空封装设备

   器件真空封焊工序真空度监测，阈值信号联动设备启停，规避封装过程真空不足带来的产品瑕疵。

6. 真空热处理、金属蒸镀设备

   金属蒸镀、真空退火炉腔体内压力监控，稳定真空环境保障镀层与热处理成品品质。

7. 第三方真空设备检测实验室

   各类真空泵、腔体设备真空性能标定，宽量程连续采集完整抽气曲线，满足行业设备验收检测标准。

使用优势

1. B-A 规 + TC 规组合测量，全域覆盖无需多台仪表

   搭配热传导规拓展后，单台主机可完成常压到超高真空全程监测，不用分别配置低真空、高真空两套测控仪表，简化产线设备布设。

2. 全自动量程切换，减少人工干预

   设备实时识别腔体压力区间自主切换测量模式，抽气、保压、充气全过程无需操作人员调整档位，适配无人值守自动化产线。

3. 两路标准阈值触点，直接联动真空设备工序

   自带两路压力开关输出，可直接控制真空阀、分子泵、溅射电源启停，搭建联锁逻辑无需额外加装中间继电器，降低电控改造成本。

4. 多拓展板插槽，功能可按需升级

   机身支持最多四块拓展板加装，可新增多路模拟输出、远程通讯、多点报警功能，设备初期基础使用，后期产线升级可按需拓展功能。

5. 完整远程外部控制，适配全自动生产线

   外部控制接口支持远程开关机、量程切换、参数设置，可接入中日德美各类工业 PLC，实现整条真空产线集中远程管控。

6. 标准机架式机身，控制柜集成便捷

   工业标准机架尺寸，可直接嵌入真空设备控制柜统一排布，整洁规整，新旧产线改造均可快速安装集成。

7. 多类型模拟信号输出，数据采集适配广

   同时提供线性、对数两类模拟电压输出，记录仪、工控采集模块均可直接读取压力数值，便于完整留存全程工艺曲线。

8. 原厂灯丝自动保护机制，延长规管使用寿命

   压力回升至常压区间时设备自动切断电离灯丝供电，避免大气冲击损伤规管电极，减少规管更换频次，降低长期运维开支。