描述：日本YAMAMOTO-MS 半导体晶圆精密电镀程控源
YPP15031WA 本体型号 A-57-15031WA，是山本镀金 A-57 系列旗舰超精密科研电镀电源，主打微安级极小电流精密输出，专为小尺寸晶圆、微结构超薄贵金属镀层研发设计。整机集成一体化加热驱动单元，无需额外搭配温控主机，可直接驱动防腐电镀加热棒，搭配液位传感器实现低液位防干烧自动断电保护，简化实验台面布线。

型号定位与同系列区分

1. A-57-15031WA（YPP15031WA）：超精密旗舰款，微安级分辨率，仅限 2~4 寸小片晶圆、微量贵金属、TSV 高深微孔专项研发，极小电流密度超薄镀层专属

2. A-57-15100WA：通用精密主力款，毫安级精度，适配 5~12 寸整片晶圆量产研发

3. A-57-15101D：经济型入门款，无电脑通讯，仅基础本地编程，用于常规赫尔槽镀液评测

整机统一基础特性

1. 超高精微低纹波输出：线性电路抑制电流脉动，微小电流区间波动极低，规避膜厚局部偏差，解决微结构电镀空洞不良

2. 分段程控多步工艺：机身存储多套阶梯电镀程序，恒压、恒流自由组合，可设置分段时长、截止电量，全程自动化运行无需人工值守

3. 集成一体式 PID 温控：内置 1kW 加热驱动，通断 / 精密 PID 两种控温模式，直接匹配原厂电镀加热棒，省去独立温控设备采购

4. 安全联锁防护体系：可外接液位浮球传感器，槽内液位不足自动切断加热与输出，防止加热管干烧损坏；整机过载、短路自动保护停机

5. 三语言可视化操作：双路液晶同步显示设定值与实时输出数值，中文 / 日文 / 英文一键切换，旋钮 + 按键复合微调，小电流精细调校便捷

6. PC 联机全套数据系统：配套 Plate Laboratory 专业软件，远程控制启停、实时绘制电压电流变化曲线，仿真换算镀层厚度，批量实验数据一键导出归档

7. 标准工业拓展插槽：预留通讯、信号拓展接口，可对接搅拌装置、晶圆旋转工装、外部报警指示灯，搭建全自动一体化电镀实验平台

8. 宽电压全球适配输入：通用宽幅市电输入，国内外实验室无需额外变压器，设备更换场地直接通电使用

标准成套配置

1. YPP15031WA（A-57-15031WA）电镀电源主机

2. 原厂功率输出连接线、通讯数据线

3. 设备操作手册、多语言工艺编程指导文档

4. Plate Laboratory 电镀仿真分析软件安装包

5. 可选拓展配件：防腐电镀加热棒、A-60 液位传感器、2~4 寸晶圆旋转电镀槽、赫尔槽实验工装、外置声光报警灯、备用输出接线端子

日本YAMAMOTO-MS 半导体晶圆精密电镀程控源

适用场景

1. 半导体 2~4 寸小片晶圆 TSV、RDL 工艺研发

   高深宽比微孔铜填充、线路层超薄电镀，依靠微安级稳定电流保证孔内镀层均匀无空洞

2. MEMS、传感器微量贵金属镀层验证

   微量软金、钯阻挡层、铂电极超薄电镀，精准控制极小电量，降低贵金属药水损耗

3. 射频、功率芯片 UBM 打底与微凸点制程

   镍钯阻挡层、锡银凸点分步电镀，分段程控自动完成多层镀层连续生长

4. 镀液厂商新配方、添加剂性能评测

   赫尔槽搭配使用，对比不同电流密度下镀层外观、均匀性，快速筛选成熟镀液配方

5. 高校微电子、电化学专业科研实验

   完整数据记录与曲线仿真，实验记录可直接用于学术论文数据支撑

6. 第三方精密镀层检测实验室

   标准化可控电镀条件，出具可复现的镀层工艺验证报告

产品核心优势

1. 微安级超高分辨率，纳米级超薄镀层精准管控

   同系列精度顶端机型，极小电流调节细腻，适配纳米级薄阻挡层、微量贵金属电镀，普通毫安级电源无法达到同等均匀性

2. 机身自带 1kW 温控驱动，减少配套设备投入

   无需单独采购外置温控主机，一套电源完成供电、溶液加热双重控制，实验室台面布局更简洁

3. 低纹波线性输出，微孔填充缺陷大幅降低

   弱化电镀过程浓差极化，药液在盲孔内部充分置换，有效改善高深宽比结构镀层空洞、填充不足问题

4. 本地 + PC 双重工艺数据存储，工艺完整可追溯

   机身本地留存多套电镀程序，电脑端记录每一组实验完整电压电流曲线，满足研发、品控数据归档审核要求

5. 多语言操作界面，国内实验室无操作门槛

   内置中文显示，无需学习日文菜单，操作人员快速上手完成工艺编程与参数调试

6. 液位联动安全保护，长时间无人实验更安心

   低液位自动切断加热输出，避免加热棒干烧破损、药水挥发带来的安全隐患

7. 兼容烧杯、小型旋转晶圆槽多类工装

   适配微型烧杯小样、2~4 寸旋转电镀槽，研发打样、新品验证多种实验方式通用

8. CE 合规整机，半导体洁净实验室适配

   整机电路、安全防护符合欧洲工业标准，科研机构、芯片研发实验室设备准入