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日本Photonic Lattice 大视野双折射测量仪

描述:日本Photonic Lattice 大视野双折射测量仪
PA-300-L 是日本 Photonic Lattice PA 系列大视野款二维双折射应力检测设备,搭载品牌光子晶体偏振阵列,取消传统旋转偏振片结构,从根源消除机械振动带来的测量偏差,专为 A4 幅面及中大尺寸透明基板全域应力扫描设计。设备采用 520nm 标准绿光光源搭配五百万像素面阵感光单元,单次拍摄即可完整输出视野内全部点位相位

  • 产品型号:PA-300-L
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-07-01
  • 访问量:102
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本Photonic Lattice 大视野双折射测量仪

基础规格参数

型号:PA-300-L 大视野二维应力双折射测量系统
检测原理:光子晶体固定偏振阵列 + 斯托克斯四分量同步采集
工作波长:520nm 绿光
相位差测量区间:0~130nm
最小分辨率:0.001nm
重复精度:相位差 σ<0.1nm;偏振轴角度 σ<0.1°(相位差>10nm)
标准有效视野尺寸:240×320mm
感光成像单元:2464×2056 五百万像素面阵传感器
单次完整成像检测时长:约 3 秒
输出参数:相位差 (nm)、应力主轴角度 (°)、等效应力 (MPa,选配模块)
通讯接口:千兆 GigE 远程程控接口
配套软件:PA-View 专业应力分析软件(热力图、分区统计、数据导出)
选配配件:真空吸附样品载台、显微变焦镜头、自动化产线联动模块
整机结构:立式升降主机架、平整标准样品台
供电规格:AC100~240V 宽幅交流市电
运行工况:常温无尘光学车间、半导体实验室,无强粉尘、强腐蚀直触光路工况

日本Photonic Lattice 大视野双折射测量仪

使用优势

  1. 大视野一体成像,标准小视野机型需多次拼接工件

    普通标准款视野狭小,A4 大玻璃要分 4 次以上拍摄拼接;PA-300-L 原生超大视场,单片一次成像,无拼接误差、检测工时缩减 70% 以上。

  2. 无旋转固定偏振结构,传统旋转偏振仪存在抖动漂移

    电机旋转偏振设备每次拍摄位置细微偏移,低应力样品复测波动大;光子晶体固定阵列全程无运动部件,同基板多次复测数值高度统一。

  3. 纳米级低应力分辨,简易偏振设备无法捕捉微弱应力

    低配应力仪仅能检测高应力工件,超薄玻璃、晶圆微弱应力无法识别;0.001nm 分辨能力,各类低应力光学元件均可精准量化。

  4. 真空吸附配套,无吸附平台薄基板翘曲产生假应力

    普通实心台面超薄玻璃自然翘曲,测出虚假应力超标;真空载台全程展平样品,仅读取材料真实内部应力,缺陷判定更准确。

  5. 千兆网远程程控,单机台式设备无法对接自动化产线

    无远程通讯简易仪器只能人工单机操作;支持 PLC 联动全自动测量,可整合进整条光学玻璃智能产线。

  6. 全域热力图自动分区,仅单数值读数设备无法定位缺陷

    仅输出单点数值简易设备无法区分基板何处应力超标;彩色热力图直观展示整片应力分布,快速锁定切割、钢化缺陷区域。

  7. 绿光专用光学光路,多波段通用设备灵敏度不足

    专为 520nm 绿光优化偏振成像算法,针对透明玻璃、晶圆灵敏度显著提升;通用多波段设备低应力信号易被噪声掩盖。

  8. Photonic Lattice 原厂光学计量规范,应力检测数据具备公证验收效力

    国产简易偏振应力设备数值仅作车间内部参考,整套光子晶体面阵检测体系匹配国际光学玻璃、半导体晶圆检验标准,完整检测台账可用于产品出厂、第三方公证审核。


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