SP 15000 C5德国sios 五自由度长度测量激光干涉仪
德国sios 五自由度长度测量激光干涉仪
本设备为德国 SIOS 自研多光路同源稳频激光干涉测量系统,搭载集成式紧凑型直线度光学模组,原生支持五自由度同步连续测量,单次走轴即可同步采集线性定位长度、俯仰角、偏航角、水平 / 垂直双向直线度四类几何误差;选配滚转角传感器可拓展至六自由度全参数检测。
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更新日期
2026-07-15 - 02
厂商性质
代理商 - 03
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