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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本BallWave 超痕量露点微量水分分析仪
整机型号:FT-400WT(FalconTrace 中端在线痕量水分仪)
检测原理:球形石英 SAW 声表面波传感技术
露点测量区间:-90℃ ~ -20℃露点
响应速度:露点变化 1 秒内完成稳定读数
传感材质:耐腐石英水晶球形传感芯,耐高温高压
样品工况压力:常压~0.3MPa 标准工艺气压力适配
操作屏幕:彩色液晶触控屏,实时显示露点、ppb 浓度、趋势曲线
数据存储:机身内置存储器,长期离线留存带时间戳监测日志
数据输出:USB 数据导出、4-20mA 模拟量、RS485 数字通讯多通道并行输出
报警功能:高低露点阈值自定义,外部继电器联动声光报警
安装形态:标准台式摆放,支持改造为电控柜嵌入式安装
供电规格:AC100~240V 宽幅通用交流市电
运行环境:工作温度 5~45℃,无凝露洁净车间 / 供气站环境
适配气源:锂电电解液载气、半导体特种高纯气、惰性气体、天然气、光伏工艺气
合规标准:符合半导体、锂电池行业工艺气体微量水在线检测管控规范
球形石英 SAW 传感,灵敏度是传统氧化铝露点仪近百倍,稳定实现 ppb 级超微量水分精准测量,杜绝高纯气微量水超标报废电芯、晶圆
1 秒极速响应特性,产线气源切换、管路泄漏瞬间捕捉露点波动,支撑工艺闭环实时调节供气系统
水晶球全耐腐蚀传感芯,可耐受微量酸性、有机杂质工艺气体,无需频繁更换传感耗材,大幅降低运维成本
全自动零点补偿算法,昼夜环境温湿度、气源压力波动自动修正,长期在线运行数据无漂移
触控屏实时趋势曲线可视化,运维人员直观查看全天水分波动,快速定位管路渗漏、供气纯化设备失效点位
多制式信号并行输出,模拟量对接 PLC、数字通讯上传中控 LIMS、U 盘离线导出日志,适配新旧自动化产线改造
高低露点可编程报警,继电器可联动电磁阀切断不合格气源、声光警示,避免不合格气体持续流入制程
双形态安装设计,实验室台式抽检、产线控制柜嵌入式在线监测两用,设备复用性强
无消耗型传感结构,测量过程无需干燥剂、电解液等耗材,仅年度一次溯源校准即可稳定运行
日本原厂统一球形 SAW 传感、露点精度出厂标定,高纯工艺气体痕量水分检测标准*锂电、半导体行业通用认可
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