描述：日本爱发科ULVAC 恒温皮拉尼真空计
本设备为爱发科恒温型皮拉尼真空测量成套设备，由 GP-1000G 数字控制器与 GPH 系列铂丝传感探头组合使用，依靠气体热传导原理完成低、中真空区间压力检测，区别传统皮拉尼，采用恒温灯丝电路，大幅削弱环境温度波动带来的数值漂移。

日本爱发科ULVAC 恒温皮拉尼真空计

基础核心参数

整机通用基础参数

1. 测量原理：恒温铂丝热传导皮拉尼法，铂丝灯丝传感

2. 标准测量量程：0.4～2700 Pa（4×10⁻¹～2.7×10³ Pa）

3. 精度分段：

• 51～760 Pa：±15% FS（高精度区间）

• 10～51 Pa / 760～1000 Pa：±30%FS

• 0.4～10 Pa / 1000～2700 Pa：±50%FS

4. 气体适配：内置 N₂氮气、Ar 氩气双模式拨码切换

5. 压力单位：Pa / Torr 面板拨码切换

6. 三组独立设定点：无源接点输出，可独立设置真空上下限联锁

7. 输出信号全规格

• 模拟输出：DC0~10V，分 1000Pa/100Pa 两种满量程线性；对数 / 非线性记录模式可选

• 数字并行：TTL 电平 BCD 输出

• 串行通讯：RS-232C 串口，波特率机身拨码可调

• 故障告警：设备异常无源报警接点

8. 供电规格：AC100~240V 宽幅交流，整机功耗 10VA

9. 安装方式：50mm 标准 DIN 导轨嵌入式安装

10. 控制器尺寸：宽 50× 深 238× 高 99mm；控制器净重 1.0kg

11. GPH 传感探头：净重 35g，标准螺纹接口接入真空腔体

12. 工作环境：15～80% RH 无凝露，环境温度 0～45℃

13. 配套传感头型号：GPH-1、GPH-1WP（防水款）

14. 标配组件：GP-1000G 控制器、GPH 标准传感探头、3 米 AC 电源线、Dsub37 输入输出端子接头、快速操作手册、出厂真空精度溯源校准证书、探头清洁耗材

日本爱发科ULVAC 恒温皮拉尼真空计

核心功能特点

1. 恒温灯丝补偿电路，环境车间昼夜温差、设备发热工况下真空读数漂移极小，长时间连续工艺运行数据稳定

2. 探头线缆延长无需重新校准，老旧真空设备改造加长管路后省去返厂标定工序，缩短产线停机时间

3. 双工艺气体内置标定，氮气常规腔体、氩气溅射腔体一键切换，无需手动换算修正压力数值

4. 三路独立可调真空阈值输出，可分别控制粗抽泵启停、工艺加热开启、镀膜腔门联锁，一套仪表实现多段真空工艺自动管控

5. 多类型信号同步输出，模拟曲线记录 + 数字工控通讯并行，同时对接记录仪与自动化 PLC，适配全自动真空产线

6. 50mm 窄幅 DIN 导轨标准尺寸，真空控制柜密集排布不占用大量柜内空间，集成布局整洁规范

7. 橙色背光液晶显示屏，机房昏暗控制柜内部、弱光车间清晰读取真空数值，不受环境光线干扰

8. 完整故障自诊断，灯丝断线、通讯异常、供电故障独立告警接点输出，快速定位仪表失效问题

9. 真空工艺台账配套归档，实时压力、阈值触发时序、腔体编号统一记录，长期管控真空泄漏、泵组衰减隐患

10. CE 工业安全认证，半导体、海外出口真空设备整机配套合规，满足多国设备验收标准