描述：德国sios 五自由度长度测量激光干涉仪
本设备为德国 SIOS 自研多光路同源稳频激光干涉测量系统，搭载集成式紧凑型直线度光学模组，原生支持五自由度同步连续测量，单次走轴即可同步采集线性定位长度、俯仰角、偏航角、水平 / 垂直双向直线度四类几何误差；选配滚转角传感器可拓展至六自由度全参数检测。

德国sios 五自由度长度测量激光干涉仪

基础核心参数

1. 测量原理：同源稳频 He-Ne 多光束激光干涉法，5DOF 原生同步测量

2. 激光波长：632.8nm，频率稳定度 2×10⁻⁸

3. 标准长度测量量程：0~15m，定制拓展最高 50m

4. 长度分辨率：＜20pm（频域），基础读数分辨率 1.5nm

5. 长度测量标准不确定度：±0.2µm/m（稳定恒温环境）

6. 角度测量量程：俯仰 / 偏航 ±5°

7. 角度分辨率：0.0004 角秒

8. 角度测量不确定度：±0.04% 读数 ±0.04µrad

9. 直线度测量量程：单段最大 6.5m，测量偏差范围 ±4mm

10. 直线度分辨率：10nm

11. 直线度测量不确定度：±0.1%×M²±0.25µm（单向）、±0.1%×M²±0.1µm（双向），M 为测量距离

12. 光束中心间距：水平 / 垂直 50mm

13. 最大测量运动速度：3m/s，采样频率 12.5MHz

14. 反射靶允许倾斜角度：＞±5°，大倾角容差不易断光

15. 同步采集时差：＜0.2ns，五参数同步采样

16. 核心拓展功能：空气折射率实时补偿、外部触发动态采集、多规格反射镜选配、滚转角 6DOF 拓展、光路偏转镜选配

17. 配套软件：InfasMTCAL/InfasAXIS，符合 DIN ISO 230、VDI/DGQ 3441 标准

18. 通讯接口：USB 工业数据接口，支持 OEM 二次开发

19. 工作环境温度：15℃~30℃

20. 适用环境湿度：10%~80% RH 无凝露

21. 整机尺寸重量

• 传感主机（含可调支架）：284×168×141mm，净重 5.2kg

• 标准三面反射靶：132×103×82mm，净重 0.9kg

• 直线度光学组件：74×81×88mm

• 光源控制器：450×450×150mm

22. 供电规格：100~240V AC 宽电压工频供电

23. 标配组件：SP15000 C5 干涉传感主机、集成直线度光学模组、标准三面反射靶、光纤耦合激光光源控制器、配套固定调节支架、USB 数据通讯线缆、原厂溯源标准校准件、出厂长度角度精度溯源校准证书、双语机床计量操作说明书、光路光学镜片清洁耗材

德国sios 五自由度长度测量激光干涉仪

核心功能特点

1. 原生五自由度同步采集，单次机床走轴一次性完成定位精度、俯仰、偏航、双向直线度全套几何误差检测，大幅缩减机床校准工时

2. 三通道同源单一稳频激光基准，杜绝多光路基准不一致造成的角度、长度测量系统偏差，长期校准数据一致性稳定

3. 集成紧凑型直线度光路设计，直线度反射模组直接搭载传感主机，整套系统仅需两大核心部件对光，狭小机床内腔快速安装调试

4. 大倾角容差广角反射靶，机床高速、大角度动态走轴不会出现光路失光中断，连续动态测量无数据断点

5. 内置光束自动方向识别光路，新手无需专业光学调校经验即可快速完成光路对准，降低计量操作门槛

6. 可选无线气候补偿传感器，实时采集环境温湿度、气压自动计算空气折射率，消除车间温变、气压波动带来的长度测量误差

7. 配套标准化合规校准软件，自动计算各项几何误差、生成误差补偿表，可直接导入各类主流 CNC 系统完成机床精度补偿

8. 毫秒级高速同步采样，支持高速动态运动轴误差捕捉，适配高速龙门、高速加工中心动态几何性能检测

9. 完整机床计量校准台账配套归档，全套几何误差数值、校准环境参数、检测时序统一记录，长期管控机床定位超差、导轨几何变形报废隐患

10. 光学镜片积灰、激光频率偏移、通讯断线设备自诊断提示，快速维护校准，缩短精密机床批量几何精度校准停工时长

适用场景

1. 高精度数控加工中心、龙门机床线性三轴出厂几何精度全套合规校准

2. 三坐标测量机 CMM 导轨定位误差、俯仰偏航、直线度年度计量检定

3. 模具高速机床、半导体精密定位平台动态几何误差检测与精度补偿

4. 恒温计量实验室长度基准传递、第三方精密计量机构机床几何精度验收检测