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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本AZBIL 蓝宝石隔膜真空计量设备
型号:V8C/V8S
设备类型:蓝宝石隔膜真空计
品牌:アズビル AZBIL(日本)
作业对象:工艺腔体、管路内部真空程度检测
接液材质:蓝宝石隔膜材质,耐各类工艺气体腐蚀
输出形式:标准信号输出,对接工控采集系统
安装形式:法兰锁紧安装,适配真空腔体集成
工作环境:精密制程工位,低粉尘,无凝露
可选配置:多种规格法兰配件,连接线缆另行选配
标配配件:真空计本体、操作手册;法兰配件、连接线缆另行选配
采用蓝宝石隔膜构件,耐化学气体腐蚀,降低介质析出污染风险
本体结构紧凑,占用空间小,适合真空腔体与设备内部嵌入集成
隔膜元件性能稳定,可应对多变的工艺气体环境
输出标准化信号,可直接接入各类工控仪表、采集系统
法兰锁紧方式,真空密封装配作业便捷
不同子机型可供选用,匹配不同腔体真空管控需求
抗环境振动干扰,适配产线设备持续长时间运行
前置过滤可以减少颗粒直接冲击隔膜,延长部件使用寿命
传感配件可单独更换,不必整套更换设备,降低后期维护成本
半导体行业,各类工艺腔体内部真空状态实时监测管控
薄膜工艺设备,真空腔体真空度检测,保障工艺条件统一稳定
分析检测设备,内部真空腔体压力状态采集
化工工艺工位,特种气体环境下腔体真空监控
自动化制程设备,腔内真空监测,输出异常报警信号
原有隔膜真空计量设备老化损坏,现场备件替换
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