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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION日本理音rion 半导体药液颗粒计数器
核心参数
检测原理：激光侧方光散射方式
光源：半导体激发固体激光，波长 532nm
最小可测粒径：0.1μm，纯水条件下可达 0.07μm
测量粒径区间：0.1‑0.5μm
粒径通道：出厂 5 通道，控制器可扩展至 10 通道，0.01μm 步长设置
额定流量：5mL/min
最大颗粒浓度：9600 个 /mL（计数损失 10%）
接液材质：合成石英、PFA，适配各类腐蚀性化学试剂
伪计数：平均 0.1 个 /mL 以下
配套控制器：KE‑40B1，触摸屏操作，支持 CF 卡存储数据
采样模式：在线管路取样、容器批量取样两种方式
供电：由控制器供给 DC12V
整机重量：约 12.5kg
工作环境：15‑30℃，湿度 85% RH 以内，无凝露
日本理音rion 半导体药液颗粒计数器
功能特点
支持批量容器取样测量，可直接对瓶、罐内样品开展检测，无需接入管路。
可检出液体内部微小颗粒，适配光刻胶、SOG 等半导体特种药液检测。
接液部位采用耐化学材质，兼容有机溶剂、腐蚀性药剂。
粒径通道可自由设定，最多支持十组粒径同时计数，满足不同管控标准。
搭配控制器触摸屏操作，检测时间可自由设定，人机交互便捷。
内置数据存储介质，完整保存颗粒计数结果，便于追溯与报表导出。
除批量取样外，也可接入管路实现在线连续监测，一套设备两种使用模式。
低伪计数，减少背景干扰，保障低杂质药液的测量可靠性。
具备泄漏传感与报警输出，出现异常可以及时输出告警信号。10. 模块化系统，可接入多点监控系统，实现多工位集中采集。
适用场景
半导体光刻胶、SOG 药液来料颗粒杂质检验。
电子化学品、高纯试剂批量取样品质分析。
超纯水、清洗药液内部微粒含量检测。
新材料研发，各类透明液体内部颗粒评价。
过滤耗材性能验证，评估过滤器的杂质去除效果。
实验室样品抽检，小批量容器内液体样品检测。
半导体工艺车间，化学品进厂验收与定期品质核查。
过滤工艺开发，对比不同工艺条件下液体洁净程度。
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