欢迎来到津越工业设备(武汉)有限公司！

18771980172

产品展示/ PRODUCTS PLAY

我的位置：首页  >  产品展示  >  外观分析设备  >  检查灯  >  日本csys 激光扫描表面形状检查机

产品分类 / PRODUCT

查看全部产品

相关文章 / ARTICLE

日本 lightest KNL‑35D / KNL‑55D 干扰条纹检查灯 产品特点与型号对比2026-08-25
日本山田光学 YP-150ID 检查灯核心参数和选购指南2026-08-07
船越龙FY-18NH/FY-18LH表面检查灯技术深度解析2026-04-21
日本 Tanaka Scientific 田中科学 AAP‑6 全自动溶解测试仪维护规范2026-08-04
日本牛尾 USHIO NUI-500H 大面积 UV 光源照射装置2026-06-26

日本csys 激光扫描表面形状检查机

描述：日本csys 激光扫描表面形状检查机
非接触式激光扫描检测设备，依靠光学反射原理完成工件全域扫描，获取完整的表面三维形貌信息。可识别细微起伏、波纹、划痕与颗粒类缺陷，无需对样品造成损伤，扫描效率高，适配镜面、抛光、薄膜类工件，用于半导体、存储器件、功能薄膜的品质检测与工艺评价工作。

  • 产品型号：CSYS12‑300
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-08-24
  • 访问量：62
产品咨询 联系我们
产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本csys 激光扫描表面形状检查机

核心参数

  • 检测原理：激光反射角度位移检测

  • 有效扫描宽度：40mm

  • 可测工件：半导体晶圆、硬盘盘片、溅射薄膜、MEMS 基板

  • 检测项目：表面形貌、粗糙度、波纹度、划痕、颗粒缺陷

  • 输出形式：三维图像、数值检测报告

  • 样品类型：镜面、抛光面、研磨面、各类金属镀膜表面

  • 安装形式：台式设备，可对接自动化上下料机构

  • 工作环境：洁净室内使用，温度 20‑26℃，湿度 40‑60% RH，无凝露

  • 配套：专用分析软件，完成数据处理、缺陷标注、统计输出

日本csys 激光扫描表面形状检查机

功能特点

  1. 宽幅一次性扫描，不用多段图像拼接，减少拼接带来的数据偏差。

  2. 非接触检测，不会划伤精密镜面、镀膜、晶圆成品表面。

  3. 可同时检出形貌起伏、波纹、微小划痕、颗粒多种表面异常。

  4. 输出三维可视化图像，缺陷位置直观定位，便于工艺溯源分析。

  5. 适配硅、碳化硅、氮化镓各类半导体基材，也可检测硬盘盘片。

  6. 对溅射、蒸镀等各类薄膜镀层表面状态做全域评价。

  7. 配套分析软件，自动统计缺陷数量、尺寸，输出检测报告。

  8. 可对接自动搬运机构，实现批量样品自动化检测作业。

  9. 适合抛光、CMP 研磨后的工件，捕捉加工留下的细微表面特征。

  10. 检测数据可保存归档，实现生产过程品质可追溯管理。

适用场景

  1. 半导体各类晶圆，研磨抛光之后的表面形貌、缺陷检查。

  2. 硬盘玻璃盘片、金属盘片，盘面波纹与表面缺陷筛查。

  3. 溅射薄膜、金属镀膜工件，镀层表面状态整体评价。

  4. MEMS 器件基板，加工后表面质量检测。

  5. CMP 工艺开发验证，评估研磨加工带来的表面波纹起伏。

  6. 光学镜面、FPD 相关基板，表面瑕疵检测。

  7. 新材料薄膜研发，对比不同工艺条件下表面品质差异。

  8. 产线抽检、来料检验，对工件做全幅表面品质判定。

留言询价/ MESSAGE INQUIRY

留言框

  • 产品：

  • 您的单位：

  • 您的姓名：

  • 联系电话：

  • 常用邮箱：

  • 省份：

  • 详细地址：

  • 补充说明：

  • 验证码：

    请输入计算结果（填写阿拉伯数字），如：三加四=7

拿起手机扫一扫
地址：湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道特1号国际企业中心三期3栋3层07号F394
邮箱：18771980172@163.com
联系人：李经理

Copyright © 2026津越工业设备(武汉)有限公司 All Rights Reserved    备案号：鄂ICP备2026021557号-1

技术支持：化工仪器网    管理登录    sitemap.xml