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德国 SONOSYS 兆声波单喷嘴系统

描述：德国 SONOSYS 兆声波单喷嘴系统配置 1MHz 单喷嘴 + MLM 系列兆声波电源发生器。采用高频压电 PZT 陶瓷换能器，兆声波能量通过 DI 水射流聚焦至工件表面，温和去除晶圆、MEMS、光学件纳米级微小颗粒，低损伤不腐蚀精细微结构。功率 20‑100% 连续可调，自带自动调谐匹配；介质为超纯水，液体流量 1.0‑1.6L/min；广泛用于半导体、MEMS、光学器件单点定点清洗

  • 产品型号：Single‑Nozzle 1MHz
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-09-09
  • 访问量：17
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

德国 SONOSYS 兆声波单喷嘴系统

德国 SONOSYS 兆声波单喷嘴系统

产品优势

  1. 1MHz 高频兆声波定点清洗，相比普通低频超声波，空化效应更柔和，去除纳米颗粒同时，降低对精细微结构、光刻胶、薄膜的冲击损伤。

  2. 喷嘴采用石英 / 不锈钢流道，FFKM 密封圈，兼容半导体 DI 超纯水工艺；聚焦清洗光斑小，适合定点局部清洗，无需整槽浸泡。

  3. MLM 兆声波电源模块，具备自动谐振调谐，输出功率 20‑100% 连续可调，降低反射功率，清洗效果稳定可复现；支持 RS232/CANopen 通讯对接上位机自动化设备。

  4. 结构紧凑，19 英寸机柜安装，适合集成至现有清洗设备、机械手工位；可租用演示样机做前期工艺验证。

核心参考参数

Single‑Nozzle 1MHz 兆声波单喷嘴系统

  • 配置：1MHz 单喷嘴 + MLM 系列兆声波电源发生器

  • 工作频率：950‑1050kHz（中心 1MHz）

  • 最大输出功率：35W

  • 功率调节范围：20‑100%

  • 换能器材质：特种 PZT 压电陶瓷

  • 清洗介质：DI 超纯水，流量 1.0‑1.6L/min，最大压力 5.5bar，介质温度 20‑50℃

  • 喷嘴‑工件工作距离：5‑20mm

  • 电源供电：110/230VAC，50‑60Hz

  • 通讯接口：RS232 / CANopen（可选）

  • 喷嘴接触介质部件：PTFE/PCTFE/ 石英玻璃 / 不锈钢，FFKM 密封圈

适用场景

  1. 半导体晶圆局部定点兆声波纳米颗粒清洗；MEMS、微系统器件清洗。

  2. 光学元件、精密模具微小颗粒去除；半导体研发实验室工艺开发。

  3. 自动化设备集成，机械手工位定点清洗。


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